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  • T/ICMTIA CM0035-2023 半导体硅材料制程装置用密封垫片 现行
    T/ICMTIA CM0035-2023 半导体硅材料制程装置用密封垫片
    译：T/ICMTIA CM0035-2023 Sealing gasket for semiconductor silicon material process equipment
    【国际标准分类号(ICS)】 ：21.140密封件、密封装置 【中国标准分类号(CCS)】 ：L90/94电子设备与专用材料、零件、结构件
    发布单位或类别：(CN-TUANTI)团体标准 | 发布时间： - | 实施时间： -
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