适用范围：范围:本文件规定了半导体设备用低温泵评价的分类、基本要求、评价要求、评价方法、评价结果。本文件适用于半导体设备用低温泵的评价; 主要技术内容:规定了半导体设备用低温泵评价的分类、基本要求、评价要求、评价方法、评价结果

适用范围：主要技术内容:1  范围2  规范性引用文件3  术语和定义4  试验设备5  试验步骤6  试验要求7  试验记录和报告

适用范围：主要技术内容:本文件规定了铸造集成液压阀组（以下简称阀组）的术语和定义、符合和代号、集成型式、制造要求、性能要求、检验项目和试验方法、检验规则、包装等。本文件适用于将非标准机加工油路块、标准板式阀阀体、插装阀油路块采用铸造流道工艺集成一体的液压控制阀组

适用范围：主要技术内容:本文件规定了工业储氢用金属氢化物储氢装置的术语和定义、组成和型号、材料、设计、制造、检验、试验、标识标志、包装、运输和出厂文件等技术要求。本文件适用于使用环境温度-40℃～65℃，设计压力不超过25MPa，固定式可重复吸放氢的工业储氢用金属氢化物储氢装置

适用范围：主要技术内容:本文件规定了疏浚工程用无肋板平面法兰钢管的结构及标记、技术要求、试验方法、检验规则和交付文件。本文件适用于法兰钢管的设计、制造和验收

适用范围：主要技术内容:本文件规定了齿轮齿条气动执行器的分类与编码、工作条件、结构、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存

适用范围：范围:本标准适用于单螺杆、双螺杆、工频、变频、一体式、风冷、水冷的喷油螺杆空气压缩机维修保养机构的能力等级管理与评价，不适用于其他类型的空气压缩机维修保养机构的能力等级管理与评价; 主要技术内容:主要技术内容包含术语和定义、能力等级条件、能力等级申请及评定

适用范围：主要技术内容:净化器壳体的材料、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存

适用范围：范围:本文件规定了液压驱动潜水泵的术语和定义、型式、型号与基本参数、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。 本文件适用于排出口公称直径不超过250mm，泵重量不超过55kg，可仅使用人力进行快速搬运与操作，使用液压动力作为源动力且与泵同轴的潜水泵（以下简称液压潜水泵）; 主要技术内容:1范围2规范性引用文件3术语和定义4型式、型号和基本参数5技术要求6试验方法7检验规则8标志、包装、运输与贮存

适用范围：主要技术内容:本文件规定了氧气用阀门的术语和定义、结构形式及型号、基本要求、技术要求、试验方法、检验规则、标志、供货要求及质量承诺。本文件适用于工作压力不大于21 MPa,公称尺寸DN10～DN1000（NPS3/8~NPS40），氧气介质温度-29℃～200℃、露点不高于-30℃，纯度（体积分数）大于23.5%的氧气用阀门（包括截止阀、球阀、蝶阀和止回阀，以下简称阀门）