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T/CSA 093-2024 MOCVD设备 气体管路加热系统 技术规范

T/CSA 093-2024

团体标准 中文(简体) 现行 页数：0页 | 格式：PDF

基本信息

标准号
T/CSA 093-2024
标准类型
团体标准
标准状态
现行
中国标准分类号（CCS）
K91 电工材料生产设备
国际标准分类号（ICS）
21.020 机器、装置、设备的特性和设计
发布日期
2024-11-21
实施日期
2024-11-21
发布单位/组织
-
归口单位
中关村半导体照明工程研发及产业联盟（国家半导体照明工程研发及产业联盟）
适用范围
范围:本文件规定了MOCVD设备气体管路加热系统（以下简称“气体加热系统”）的技术要求和试验方法。 本文件适用于气体加热系统的研发、制备、测试分析及其评价; 主要技术内容:本文件规定了MOCVD设备气体管路加热系统（以下简称“气体加热系统”）的技术要求和试验方法。本文件适用于气体加热系统的研发、制备、测试分析及其评价

发布历史

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研制信息

起草单位：
中微半导体设备（上海）股份有限公司、中关村半导体照明联合创新重点实验室、厦门三安光电有限公司、东莞市志橙半导体材料有限公司、北京大学、晶能光电股份有限公司、安泰天龙钨钼科技有限公司、北京大学东莞光电研究院、中国科学院半导体研究所、中国科学院重庆绿色智能技术研究院、中国计量大学、广东省东莞市质量监督检测中心
起草人：
汪国元、郭世平、金文彬、姜勇、徐圆圆、余湛、刘建明、朱佰喜、陈兆营、涂逵、陈福鸽、刘强、胡国新、陆文强、李本亮、徐苏楠
出版信息：
页数：- | 字数：- | 开本： -

内容描述

暂无内容

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