T/QGCML 1126-2023 连续双样品室等离子体清洗装置
T/QGCML 1126-2023 Consecutive double sample chamber plasma cleaning device
团体标准
中文(简体)
现行
页数：0页
|
格式：PDF
基本信息
标准号
T/QGCML 1126-2023
标准类型
团体标准
标准状态
现行
发布日期
2023-08-03
实施日期
2023-08-18
发布单位/组织
-
归口单位
全国城市工业品贸易中心联合会
适用范围
主要技术内容:本文件规定了连续双样品室等离子体清洗装置的术语和定义、构成、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输及贮存。本文件适用于连续双样品室等离子体清洗装置的设计、制造和检验
发布历史
-
2023年08月
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研制信息
- 起草单位：
- 武汉普迪真空科技有限公司、武汉普昊科技有限公司、湖北智瑞科技有限公司
- 起草人：
- 马艳、周焱文、杨林生、何光、聂天伟、周乐、马淑锋、马强威、张澳、周繁荣
- 出版信息：
- 页数：- | 字数：- | 开本： -
内容描述
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