GB/T 29845-2013 半导体制造设备的最终装配、包装、运输、拆包及安放导则

L95

口目

中华人民共和国国彖标准

GB/T29845—2013

半导体制造设备的最终装配、包装、运输、

拆包及安放导则

Guideforfinalassembly,packaging,transportation,unpacking,and

relocationofsemiconductormanufacturingequipment

2013-11-12发布2014-04-15实施

GB/T29845—2013

目次

刖有I

1范围1

2规范性引用文件1

3缩略语1

4清洁和包装材料1

5装配和预包装程序2

6三层包装2

7包装程序3

8装箱程序3

9包装和固定程序4

10监控设备安装程序5

11标记和标签5

12装箱单6

13运输6

14卸载、拆箱和搬运6

15检查7

GB/T29845—2013

■ir■■i

刖吕

本标准按照GB/T1.1—2009给出的规则起草。

本标准由全国半导体设备与材料标准化技术委员会(SAC/TC203)提出并归口。

本标准起草单位:工业和信息化部电子丁业标准化研究院、北京七星华创电子股份有限公司。

本标准主要起草人：黄英华、刘军、吴良军、钟华、周历群、冯亚彬。

T

GB/T29845—2013

半导体制造设备的最终装配、包装、运输、

拆包及安放导则

1范围

本标准给出了半导体制造设备(SME)在供应商工厂的最终装配(总装)、包装、运输以及在客户洁

净室生产区的拆包和安放等特定活动指南。

本标准适用于半导体制造设备、独立的组件和部件在供应商T厂的最终装配(总装)、包装和运输以

及从客户装货码头/接收区到高纯和超高纯应用的洁净室生产区的转移过程。

本标准不包含与环境、健康和安全(EHS)相关的特殊要求，也不适用于与晶片粒子或晶片质量(如

离子污染度)相关的加工过程规范。

2规范性引用文件

下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文

件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。

GB/T25915.1洁净室及相关受控环境第1部分:空气洁净度等级

SEMIC412-丙醇的规范和指南(SpecificationandGuidelinesfor2-propanol)

SEMIF63半导体加工用超纯水指南(GuidelinesforUltrapureWaterUsedinSemiconductor

processing)

3缩略语

下列缩略语适用于本文件。

APA：美国工程木材协会(theengineeredwdassociation)

EPS：发泡聚苯乙烯(expandedpolystyrene)

IPA：异丙醇(isopropylalcohol)

SME：半导体制造设备(semiconductormanufacturingequipment)

UPW：超纯水(ultrapurewater)

4清洁和包装材料

对于清洁和三层包装，建议使用下列材料：

——UPW(参见SEMIF63)；

——IPA(参见SEMTC41)；

—具有超低的颗粒产生,超低的离子析出水平，聚酯材料的，GB/T25915.1中ISO5级洁净室

允许的棉签和带封边的擦拭巾；

—具有超低的颗粒产生，超低的离子析出水平，无碳氢化合物的，约150Mm厚的天然聚乙烯

薄膜；

——具有超低的颗粒产生的胶带。

1

GB/T29845—2013

5装配和预包装程序

5.1预装配

5.1.1洁净室里不适宜进行的机械加工、锯切、焊接、钎焊、研磨、砂磨和其他加丁过程，应在组件转移

到洁净装配区前完成以上工作。

5.1.2所有SME组件在转移到洁净装配区前，应进行真空吸尘，用经过过滤的空气吹扫，用无尘的擦

拭巾和棉签蘸取用UPW稀释的10%〜70%IPA溶液进行清洗，然后立即进入到洁净装配区。

5.1.3切削液、润滑剂和焊剂应在组件转移到洁净装配区前清除，适合于洁净室的润滑剂可保留。

5.2洁净装配区

5.2.1SME所有组件应在至少满足GB/T25915.1中ISO6级及以