T/CIET 875-2024 半导体用高纯石英玻璃

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标准号

T/CIET 875-2024

标准类型

团体标准

标准状态

现行

中国标准分类号（CCS）

国际标准分类号（ICS）

81.040.01 玻璃综合

发布日期

2024-12-18

实施日期

2024-12-18

发布单位/组织

归口单位

中国国际经济技术合作促进会

适用范围

范围:本文件规定了半导体用高纯石英玻璃的一般要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。本文件适用于半导体用高纯石英玻璃; 主要技术内容:本文件规定了半导体用高纯石英玻璃的一般要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。本文件适用于半导体用高纯石英玻璃

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起草单位：: 通标中研标准化技术研究院（北京）有限公司、中天科技精密材料有限公司、神光光学集团有限公司、长沙韶光芯材科技有限公司、长飞石英技术（武汉）有限公司、上海传芯半导体有限公司、中国科学院合肥物质科学研究院、途邦认证有限公司

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