T/CIET 875-2024 半导体用高纯石英玻璃
T/CIET 875-2024 High purity silica glass for semiconductors
团体标准
中文(简体)
现行
页数:0页
|
格式:PDF
基本信息
标准号
T/CIET 875-2024
标准类型
团体标准
标准状态
现行
发布日期
2024-12-18
实施日期
2024-12-18
发布单位/组织
-
归口单位
中国国际经济技术合作促进会
适用范围
范围:本文件规定了半导体用高纯石英玻璃的一般要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。
本文件适用于半导体用高纯石英玻璃;
主要技术内容:本文件规定了半导体用高纯石英玻璃的一般要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。本文件适用于半导体用高纯石英玻璃
发布历史
-
2024年12月
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研制信息
- 起草单位:
- 通标中研标准化技术研究院(北京)有限公司、中天科技精密材料有限公司、神光光学集团有限公司、长沙韶光芯材科技有限公司、长飞石英技术(武汉)有限公司、上海传芯半导体有限公司、中国科学院合肥物质科学研究院、途邦认证有限公司
- 起草人:
- 吴永利、沈一春、曹海平、李弋舟、欧阳琛、蔡晓峰、王忠聿、陶伟、简帅、陈健、钱宜刚、刘岩、汪贤峰、张立龙、徐敬铭、包瑾、鲁家辉
- 出版信息:
- 页数:- | 字数:- | 开本: -
内容描述
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