GB/T 22453-2008 硼酸盐非线性光学单晶元件质量测试方法

ICS17．180

A60

囝亘

中华人民共和国国家标准

GB／T

硼酸盐非线性光学单晶元件

质量测试方法

Non-linearboratedevicesmethod

opticalcrystalmeasuring

2008-10-07发布

丰瞀徽紫瓣訾麟瞥星发布中国国家标准化管理委员会促19

GB／T

刖罱

本标准由全国光辐射安全和激光设备标准化技术委员会(SAC／TC284)提出并归口。

本标准起草单位：中国科学院福建物质结构研究所、福建光电子材料工程技术研究中心和福建福晶

科技股份有限公司。

本标准主要起草人：兰国政、吴少凡、林文雄、谢发利、吴季、李雄。

GB／T

硼酸盐非线性光学单晶元件

质量测试方法

1范围

(LiB。O。，简称LBO)的质量测试方法。

本标准适用于BBO和LBO单晶元件。能满足本标准要求的其他硼酸盐非线性光学单晶元件也可

参照使用。

2规范性引用文件

下列文件中的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款。凡是注日期的引用文件，其随后所有

的修改单(不包括勘误的内容)或修订版均不适用于本标准，然而，鼓励根据本标准达成协议的各方研究

是否可使用这些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件，其最新版本适用于本标准。

GB／T11297．1

2002激光棒波前畸变的测量方法

166011996ISO／

GB／T光学表面激光损伤阈值测试方法第1部分：1对1测试(eqv

DIS112541．2：1995)

9495．3

JB／T1999光学晶体透过率测量方法

3主要测试项目

3．1物理性能

散射、光学不均匀性、特定波长吸收、倍频转换效率、激光损伤阈值、减反膜剩余反射率、波前畸变。

3．2加工质量

尺寸公差、角度偏差、不平行度、不平面度、不垂直度、有效通光孔径、表面疵病。

4测试的环境要求

洁净等级：10000级

温度：(23±2)℃

相对湿度：(55±5)％

5测试方法

5．1散射

5．1．1测试原理

利用单晶元件内部的包络、气泡等缺陷对激光束的散射作用，观测单晶元件内部质量。当激光通过

元件的光路被散射变粗或出现发散光，表明元件存在包络、气泡等缺陷。

5．1．2测试条件

样品：单晶元件的激光人射面、出射面及观测面抛光。

环境：在暗室内测量。

5．1．3测试仪器

He—Ne激光器(波长632．8mw～50ram)，三维调节平

Ilm，功率40mw，光斑直径大于或等于2

1

22453--2008

GB／T

台，带标尺的50倍显微镜。

5．1，4测试步骤

5．1．4．1将单晶元件放置于激光器检测光路中，使元件通光面与激光光束垂直。

5．1．4．2通过调整三维调整台，使激光光束相对于元件通光面作两维扫描，相邻扫描点的间隔为

2mm。

5．1．4．3扫描过程中用带标尺的显微镜观察，如发现有散射点，记录其个数、位置及大小。

5．2光学不均匀性

5．2．1测试原理

测试光通过单晶元件后，被后标准镜反射，它与前标准镜反射的激光发生于涉，通过计算干涉条纹

的变化量，得出单晶元件的光学不均匀性。

5．2．2测试仪器

采用斐索干涉仪结构的高精度光学均匀性测量仪(准确度为1×10_7)。

5．2．3测试步骤

5．2．3．1打开测量仪

5．2．3．2将样品按图1放人测试光路中，调节旋钮至条纹出现2条～3条，测试样品的透