JJF 1306-2011 X射线荧光镀层测厚仪校准规范

中华人民共和国国家计量技术规范

JJF1306—2011

X射线荧光镀层测厚仪校准规范

CalibrationSpecificationfor

X-RayFluorescenceCoatingThicknessInstruments

2011-09-14发布2011-12-14实施

国家质量监督检验检疫总局发布

JJF1306—2011

目录

范围……………………

1(1)

引用文献………………

2(1)

概述……………………

3(1)

计量特性………………

4(1)

厚度测量重复性……………………

4.1(1)

示值稳定性…………

4.2(1)

厚度测量示值误差…………………

4.3(1)

校准条件………………

5(2)

环境条件……………

5.1(2)

校准所用标准器及配套设备………

5.2(2)

校准项目和校准方法…………………

6(2)

校准前准备…………

6.1(2)

厚度测量重复性……………………

6.2(2)

示值稳定性…………

6.3(2)

厚度测量示值误差…………………

6.4(3)

校准结果表达…………

7(3)

复校时间间隔…………

8(3)

附录测量结果不确定度评定示例……………

A()(4)

附录厚度标准块的技术要求………

B(7)

附录常见典型镀层材料的厚度范围………………

C(9)

JJF1306—2011

X射线荧光镀层测厚仪校准规范

1范围

本规范适用于射线荧光镀层测厚仪的校准

X。

2引用文献

本规范引用下列文献

:

通用计量术语及定义

JJF1001—1998

测量不确定度评定与表示

JJF1059—1999

测量仪器特性评定

JJF1094—2002

金属覆盖层覆盖层厚度测量射线光谱方法

GB/T16921—2005X

使用本规范时应注意使用上述引用文献的现行有效版本

,。

3概述

射线荧光镀层测厚仪是一种基于能量色散方法的非破坏性定量分析仪器具有分

X,

析测量多种金属材料成份和多种镀层厚度的功能广泛应用于电子半导体首饰材

,、、、

料分析等行业射线荧光镀层测厚仪测量镀层厚度的原理射线管产生的初级

。X:XX

射线照射在被分析的样品上样品受激发而辐射出二次射线被探测器接收此二次

,X,

辐射具有该样品材料的波长和能量特征镀层厚度和二次辐射强度有一定的关系经多

,,

道分析器及计算机进行能谱分析处理后计算被测样品的镀层厚度

,。

射线荧光镀层测厚仪的工作原理示意图见图

X1。

图射线荧光镀层测厚仪工作原理示意图

1X

4计量特性

厚度测量重复性

4.1

镀层厚度测量重复性不超过

3%。

示值稳定性

4.2

在内其示值变化不大于仪器最大允许示值误差

1h。

厚度测量示值误差

4.3

验收时按用户和制造商双方达成的技术协议复校时按用户的规定

,。

注:由于校准工作只给出测量结果,不判断合格与否,上述计量特性仅供参考。

1

JJF1306—2011

5校准条件

环境条件

5.1

校准室的温度

5.1.1:(20±5)℃。

校准室的湿度不大于

5.1.2:75%RH。

校准所用标准器及配套设备

5.2

校准所用标准器及配套设备见表

1。

表1校准项目和校准所用标准器及配套设备一览表

序号校准项目校准用主要设备厚度标准块片等级

()

厚度测量重复性厚度标准块片级或级

1()12

厚度测量示值误差厚度标准块片级或级

2()12

示值稳定性厚度标准块片级或级

3()12

注:校准仪器用的标准块(片)的技术要求参考附录。

B

6校准项目和校准方法

校准前准备

6.1

校准前应目视观察及开机运行检查包括安全防护的可靠性移动台激光对位等

,、、

功能的可靠性在确保安全和没有影响校准计量特性的因素后方可进行校准

。。

仪器开机预热不少于

30min。

厚度测量重复性

6.2

在仪器的有效测量范围内选取一个厚度标准块片其厚度值大约分布在仪器

,(),

二分之一量程处厚度标准块片的材料的选用与仪器实际测量应用相一致调用相

,(),

应测量程序重复测量该厚度标准块片次记录仪器测量显示值hi按公式

,()10,,

计算实验标准偏差

(1):

n

s=1hi-h2

n-i=()(1)

1∑1

式中hi第i次测量的仪器示值

:———,μm;

h