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T/CSTM 00313-2021 基于光谱反演的光学薄膜常数测试方法

T/CSTM 00313-2021 Spectroscopic reflectance-based method for testing optical thin-film constants

团体标准 中文(简体) 现行 页数：0页 | 格式：PDF

基本信息

标准号
T/CSTM 00313-2021
标准类型
团体标准
标准状态
现行
中国标准分类号（CCS）
N 仪器、仪表
国际标准分类号（ICS）
17.180.01 光学和光学测量综合
发布日期
2021-10-18
实施日期
2022-01-18
发布单位/组织
-
归口单位
中关村材料试验技术联盟
适用范围
范围:本文件规定了采用光谱法测定单层光学薄膜的光谱特性，并以此反演出膜层光学常数的测试方法。 本文件适用于50nm～5000nm的介质光学薄膜和基片，薄膜为氧化物、氟化物、硫化物等化合物，基片为各种可见光透明光学玻璃、可见光透明各向同性晶体; 主要技术内容:本文件规定了采用光谱法测定单层光学薄膜的光谱特性，并以此反演出膜层光学常数的测试方法。本文件适用于50nm～5000nm的介质光学薄膜和基片，薄膜为氧化物、氟化物、硫化物等化合物，基片为各种可见光透明光学玻璃、可见光透明各向同性晶体

发布历史

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研制信息

起草单位：
西南技术物理研究所、中国科学院上海光学精密机械研究所
起草人：
马孜、姚德武、封巍、罗舒、郑环其、李斌成、易葵、张伟丽、赵元安
出版信息：
页数：- | 字数：- | 开本： -

内容描述

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