GB/T 14145-1993 硅外延层堆垛层错密度测定 干涉相衬显微镜法
GB/T 14145-1993 Test method for stacking fault density of epitaxial layers of silicon by interference-contrast microscopy
国家标准
中文简体
废止
页数：8页
|
格式：PDF
基本信息
标准号
GB/T 14145-1993
标准类型
国家标准
标准状态
废止
发布日期
1993-02-06
实施日期
1993-10-01
发布单位/组织
国家技术监督局
归口单位
-
适用范围
-
发布历史
-
1993年02月
研制信息
- 起草单位：
- -
- 起草人：
- 林敏敏、夏锦禄
- 出版信息：
- 页数：8页 | 字数：6 千字 | 开本： 大16开
内容描述
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