GB/T 31093-2014 蓝宝石晶锭应力测试方法
GB/T 31093-2014 Test method for stress of monocrystalline sapphire ingot
国家标准
中文简体
现行
页数:6页
|
格式:PDF
基本信息
标准类型
国家标准
标准状态
现行
发布日期
2014-12-22
实施日期
2015-09-01
发布单位/组织
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会(SAC/TC 203/SC 2)
适用范围
本标准规定了蓝宝石单晶晶锭的应力测试方法。
本标准适用于经过加工后直径为50.8 mm~200 mm的c向蓝宝石晶锭的应力测试,其他尺寸蓝宝石晶锭(以下简称晶锭)的应力测试可参照使用。
本标准适用于经过加工后直径为50.8 mm~200 mm的c向蓝宝石晶锭的应力测试,其他尺寸蓝宝石晶锭(以下简称晶锭)的应力测试可参照使用。
发布历史
-
2014年12月
研制信息
- 起草单位:
- 协鑫光电科技(江苏)有限公司、中国科学院上海光学精密机械研究所、北京合能阳光新能源技术有限公司
- 起草人:
- 刘逸枫、魏明德、徐养毅、杭寅、肖宗杰
- 出版信息:
- 页数:6页 | 字数:8 千字 | 开本: 大16开
内容描述
ICS77.040.10
中华人民共和国国彖标准
GB/T31093—2014
蓝宝石晶锭应力测试方法
Testmethodforstressofmonocrystallinesapphireingot
2014-12-22发布2015-09-01实施
GB/T31093—2014
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本标准按照GB/T1.1—2009给出的规则起草。
本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)和全国半导体设备和材料标准
化技术委员会材料分会(SAC/TC203/SC2)共同提出并归口。
本标准起草单位:协鑫光电科技(江苏)有限公司、中国科学院上海光学精密机械研究所、北京合能
阳光新能源技术有限公司。
本标准主要起草人:刘逸枫、魏明德、徐养毅、杭寅、肖宗杰。
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