SJ/T 11451-2022 扩散炉能源消耗规范
SJ/T 11451-2022 Diffusion furnace energy consumption specifications
行业标准-电子
简体中文
现行
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格式：PDF
基本信息
标准号
SJ/T 11451-2022
标准类型
行业标准-电子
标准状态
现行
发布日期
2022-10-20
实施日期
2023-01-01
发布单位/组织
工业和信息化部
归口单位
中国电子技术标准化研究院
适用范围
适用于工作温度在400 ℃～1 350 ℃的扩散/氧化、退火、合金工艺使用的扩散炉
发布历史
-
2013年10月
-
2022年10月
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研制信息
- 起草单位：
- 北京北方华创微电子装备有限公司、中国电子技术标准化研究院、晶澳太阳能科技股份有限公司、株洲中车时代半导体有限公司、英利能源（中国）有限公司、北京赛西认证有限责任公司
- 起草人：
- 李补忠、吴秀祥、孙朋涛、张颖、郝晓明、赵永猛、刘月雷、张红妹、张生春、李琳
- 出版信息：
- 页数：- | 字数：- | 开本： -
内容描述
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