T/CZZMXH 010-2024 193 nm紫外灯及光源系统辐射特性测量方法
T/CZZMXH 010-2024 Measurements of radiation characteristics of 193 nm UV lamps and light source systems
团体标准
中文(简体)
现行
页数:0页
|
格式:PDF
基本信息
标准号
T/CZZMXH 010-2024
标准类型
团体标准
标准状态
现行
发布日期
2024-01-16
实施日期
2024-01-16
发布单位/组织
-
归口单位
常州市照明电器协会
适用范围
范围:本文件规定了193 nm紫外灯及光源系统辐射特性的测量参数、测试要求等项目。
本文件适用于光刻机用193 nm紫外灯及光源系统的辐射特性测量。其他应用类型的紫外灯的辐射特性测量可参考使用;
主要技术内容:本文件规定了193 nm紫外灯及光源系统辐射特性的测量参数、测试要求等项目。本文件适用于光刻机用193 nm紫外灯及光源系统的辐射特性测量。其他应用类型的紫外灯的辐射特性测量可参考使用。4 测量参数5 测试原理6 仪器设备7 测试要求8 测试步骤9 数据处理
发布历史
-
2024年01月
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研制信息
- 起草单位:
- 常州玉宇电光器件有限公司、复旦大学电光源研究所、国家半导体照明产品质量检验检测中心(江苏)(常州检验检测标准认证研究院)、常州市照明电器协会
- 起草人:
- 殷尧平、韩秋漪、万小玲、陆旭峰、徐琴玉、张善端、庄燕忠、李丁强、徐虹、刘朝霞、孙鹤源、孙瑜、张亮、杨静华
- 出版信息:
- 页数:- | 字数:- | 开本: -
内容描述
暂无内容
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