T/CASAS 025-2023 8英寸碳化硅衬底片基准标记及尺寸

T/CASAS 025-2023 8-inch silicon carbide substrate reference mark and dimensions

团体标准中文(简体) 现行页数：8页 | 格式：PDF

基本信息

标准号

T/CASAS 025-2023

标准类型

团体标准

标准状态

现行

中国标准分类号（CCS）

国际标准分类号（ICS）

发布日期

2023-06-19

实施日期

2023-06-19

发布单位/组织

归口单位

北京第三代半导体产业技术创新战略联盟

适用范围

范围:本文件规定了8英寸碳化硅衬底片基准标记及尺寸。本文件适用于碳化硅切割片、研磨片和抛光片。注：碳化硅衬底片主要用于制作电力电子器件的外延衬底; 主要技术内容:本文件规定了8英寸碳化硅衬底片基准标记及尺寸。本文件适用于碳化硅切割片、研磨片和抛光片。注：碳化硅衬底片主要用于制作电力电子器件的外延衬底

发布历史

2023年06月

T/CASAS 025-2023　8英寸碳化硅衬底片基准标记及尺寸

当前标准现行 2023-06-19

文前页预览

研制信息

起草单位：: 山东大学、广州南砂晶圆半导体技术有限公司、瀚天天成电子科技(厦门)有限公司、广东天域半导体股份有限公司、绍兴中芯集成电路制造股份有限公司、泰科天润半导体科技（北京）有限公司、北京第三代半导体产业技术创新战略联盟

起草人：: 崔潆心、杨祥龙、陈秀芳、徐现刚、来玲玲、于国建、冯淦、丁雄杰、潘国卫、秋琪、徐瑞鹏

出版信息：: 页数：8页 | 字数：- | 开本： -

内容描述

ICS29.045

CCSH80/84

团体标准

T/CASAS025—2023

8英寸碳化硅衬底片基准标记及尺寸

8-inchsiliconcarbidewaferreferencemarkinganddimensions

版本：V01.00

2023-06-19发布2023-06-19实施

第三代半导体产业技术创新战略联盟发布

T/CASAS025—2023

前言....................................................................................................................................................................III

引言....................................................................................................................................................................IV

1范围..................................................................................................................................................................1

2规范性引用文件..............................................................................................................................................1

3术语和定义......................................................................................................................................................1

48英寸碳化硅基准标记说明............................................................................................................................1

5规定..................................................................................................................................................................1

切口相关参数.........................................................................

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