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T/CASAS 025-2023 8英寸碳化硅衬底片基准标记及尺寸

T/CASAS 025-2023 8-inch silicon carbide substrate reference mark and dimensions

团体标准 中文(简体) 现行 页数：8页 | 格式：PDF

基本信息

标准号
T/CASAS 025-2023
标准类型
团体标准
标准状态
现行
中国标准分类号（CCS）
-
国际标准分类号（ICS）
-
发布日期
2023-06-19
实施日期
2023-06-19
发布单位/组织
-
归口单位
北京第三代半导体产业技术创新战略联盟
适用范围
本文件规定了8英寸碳化硅衬底片基准标记及尺寸。 本文件适用于碳化硅切割片、研磨片和抛光片。 注： 碳化硅衬底片主要用于制作电力电子器件的外延衬底。 本文件规定了8英寸碳化硅衬底片基准标记及尺寸。 本文件适用于碳化硅切割片、研磨片和抛光片。 注： 碳化硅衬底片主要用于制作电力电子器件的外延衬底

发布历史

文前页预览

T/CASAS 025-2023 8英寸碳化硅衬底片基准标记及尺寸-第1页
T/CASAS 025-2023 8英寸碳化硅衬底片基准标记及尺寸-第2页

研制信息

起草单位：
山东大学、广州南砂晶圆半导体技术有限公司、瀚天天成电子科技(厦门)有限公司、广东天域半导体股份有限公司、绍兴中芯集成电路制造股份有限公司、泰科天润半导体科技（北京）有限公司、北京第三代半导体产业技术创新战略联盟
起草人：
崔潆心、杨祥龙、陈秀芳、徐现刚、来玲玲、于国建、冯淦、丁雄杰、潘国卫、秋琪、徐瑞鹏
出版信息：
页数：8页 | 字数：- | 开本： -

内容描述

ICS29.045

CCSH80/84

团体标准

T/CASAS025—2023

8英寸碳化硅衬底片基准标记及尺寸

8-inchsiliconcarbidewaferreferencemarkinganddimensions

版本：V01.00

2023-06-19发布2023-06-19实施

第三代半导体产业技术创新战略联盟发布

T/CASAS025—2023

目次

前言....................................................................................................................................................................III

引言....................................................................................................................................................................IV

1范围..................................................................................................................................................................1

2规范性引用文件..............................................................................................................................................1

3术语和定义......................................................................................................................................................1

48英寸碳化硅基准标记说明............................................................................................................................1

5规定..................................................................................................................................................................1

切口相关参数.........................................................................

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