JC/T 3080-2026 i线光刻级氟化钙晶体
JC/T 3080-2026 i-line photoresist-grade calcium fluoride crystal
行业标准-建材
简体中文
即将实施
页数：0页
|
格式：PDF
基本信息
标准号
JC/T 3080-2026
标准类型
行业标准-建材
标准状态
即将实施
发布日期
2026-07-15
实施日期
2027-02-01
发布单位/组织
工业和信息化部
归口单位
全国人工晶体标准化技术委员会
适用范围
本文件规定了i线光刻级氟化钙晶体的术语和定义、技术要求、检验方法、检验规则、包装、运输及贮存。 本文件适用于i线光刻级氟化钙晶体。
发布历史
-
2026年07月
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研制信息
- 起草单位：
- 中国科学院上海硅酸盐研究所、上海德硅凯氟光电科技有限公司、上海微电子装备（集团）股份有限公司、上海现代先进超精密制造中心有限公司、中材人工晶体研究院有限公司
- 起草人：
- 苏良碧、刘荣荣、张博、姜大朋、寇华敏、吴庆辉、张中晗、唐飞、王静雅、钱小波、贾健、侯宝路、李运峰、吴永庆、陈建荣
- 出版信息：
- 页数：- | 字数：- | 开本： -
内容描述
暂无内容
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