YS/T 791-2012 铂靶

ICS77.120.99

H68

中华人民共和国有色金属行业标准

/—

YST7912012

铂靶

Platinumtaret

g

ㅤㅤㅤㅤ

2012-11-07发布2013-03-01实施

中华人民共和国工业和信息化部发布

/—

YST7912012

铂靶

1范围

、、、、、。

本标准规定了铂靶的要求试验方法检验规则和标志包装运输贮存及合同或订货单

(),。

本标准适用于半导体器件用的各类铂溅射靶材以下简称铂靶其他用途的铂靶材也可参照使用

2规范性引用文件

。,

下列文件对于本文件的应用是必不可少的凡是注日期的引用文件仅注日期的版本适用于本文

。,()。

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改单适用于本文件

/产品几何技术规范()、、

GBT1182几何公差形状方向位置和跳动公差标注

GPS

/—海绵铂

GBT14192004

/—贵金属及其合金材料几何尺寸测量方法

GBT150772008

3要求

3.1产品分类

ㅤㅤㅤㅤ

、。。

铂靶按照纯度分为IC-Pt99.95IC-Pt99.99两个牌号外形主要为圆形和矩形

3.2化学成分

/—,

铂靶的化学成分应符合中的及的规定未规定元素和挥发物

GBT14192004Pt99.95Pt99.99

,。

控制限及分析