T/ICMTIA ESG0013-2022 集成电路用混合气体 3.5%氩/10ppm氙/氖
T/ICMTIA ESG0013-2022 The mixed gas used for integrated circuits consisting of 3.5% argon, 10 ppm xenon, and neon
团体标准
中文(简体)
现行
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格式：PDF
基本信息
标准号
T/ICMTIA ESG0013-2022
标准类型
团体标准
标准状态
现行
发布日期
2022-04-08
实施日期
2022-05-01
发布单位/组织
-
归口单位
中关村集成电路材料产业技术创新联盟
适用范围
主要技术内容:本文件规定了集成电路用3.5%氩/10ppm氙/氖混合气的技术要求、试验方法以及标志、包装、运输及储存的要求。本文件适用于集成电路用3.5%氩/10ppm氙/氖混合气, 其它组分比例的氩氙氖混合气可以参考执行
发布历史
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研制信息
- 起草单位：
- 中船（邯郸）派瑞特种气体股份有限公司、中国船舶集团有限公司第七一八研究所
- 起草人：
- 郑秋艳、殷越玲、闫云、袁瑞玲、王蒙蒙、苏子杰、滕莹、李帅楠
- 出版信息：
- 页数：- | 字数：- | 开本： -
内容描述
暂无内容
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