T/ICMTIA ESG0013-2022 集成电路用混合气体 3.5%氩/10ppm氙/氖
T/ICMTIA ESG0013-2022 The mixed gas used for integrated circuits consisting of 3.5% argon, 10 ppm xenon, and neon
团体标准
现行
页数：0页
|
格式：PDF
基本信息
标准号
T/ICMTIA ESG0013-2022
标准类型
团体标准
标准状态
现行
发布日期
2022-04-08
实施日期
2022-05-01
发布单位/组织
中关村集成电路材料产业技术创新联盟
归口单位
-
适用范围
-
发布历史
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研制信息
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- 出版信息：
- 页数：- | 字数：- | 开本： 大16开开
内容描述
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