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T/GVS 007-2022 射频电源动态阻抗测试方法

T/GVS 007-2022 Radio Frequency Power Dynamic Resistance Test Method

团体标准 中文(简体) 现行 页数：0页 | 格式：PDF

基本信息

标准号
T/GVS 007-2022
标准类型
团体标准
标准状态
现行
中国标准分类号（CCS）
K 电工
国际标准分类号（ICS）
19.080 电工和电子试验
发布日期
2022-07-11
实施日期
2022-07-11
发布单位/组织
-
归口单位
广东省真空学会
适用范围
范围:本文件规定了射频电源动态阻抗测试方法的术语和定义、原理、测试环境条件、仪器设备、测试方法、测试报告。 本文件适用于半导体刻蚀、薄膜沉积等应用场合中，输出频率0.2 MHz～100 MHz的射频电源动态阻抗测试; 主要技术内容:规定了射频电源动态阻抗测试方法的术语和定义、原理、测试环境条件、仪器设备、测试方法、测试报告。适用于半导体刻蚀、薄膜沉积等应用场合中，输出频率0.2 MHz～100 MHz的射频电源动态阻抗测试

发布历史

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研制信息

起草单位：
深圳市恒运昌真空技术有限公司、广东工业大学、大连理工大学、拓荆科技股份有限公司
起草人：
乐卫平、林伟群、姚志毅、唐亚海、林桂浩、黄永镇、刘涛、张桂东、张赛谦、郭冬、高飞
出版信息：
页数：- | 字数：- | 开本： -

内容描述

暂无内容

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