T/GVS 007-2022 射频电源动态阻抗测试方法
T/GVS 007-2022 Radio Frequency Power Dynamic Resistance Test Method
团体标准
中文(简体)
现行
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格式:PDF
基本信息
标准号
T/GVS 007-2022
标准类型
团体标准
标准状态
现行
发布日期
2022-07-11
实施日期
2022-07-11
发布单位/组织
-
归口单位
广东省真空学会
适用范围
范围:本文件规定了射频电源动态阻抗测试方法的术语和定义、原理、测试环境条件、仪器设备、测试方法、测试报告。
本文件适用于半导体刻蚀、薄膜沉积等应用场合中,输出频率0.2 MHz~100 MHz的射频电源动态阻抗测试;
主要技术内容:规定了射频电源动态阻抗测试方法的术语和定义、原理、测试环境条件、仪器设备、测试方法、测试报告。适用于半导体刻蚀、薄膜沉积等应用场合中,输出频率0.2 MHz~100 MHz的射频电源动态阻抗测试
发布历史
-
2022年07月
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研制信息
- 起草单位:
- 深圳市恒运昌真空技术有限公司、广东工业大学、大连理工大学、拓荆科技股份有限公司
- 起草人:
- 乐卫平、林伟群、姚志毅、唐亚海、林桂浩、黄永镇、刘涛、张桂东、张赛谦、郭冬、高飞
- 出版信息:
- 页数:- | 字数:- | 开本: -
内容描述
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