YS/T 1508-2021 钯蒸发料
YS/T 1508-2021 Palladium evaporative material
行业标准-有色金属
简体中文
现行
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格式：PDF
基本信息
标准号
YS/T 1508-2021
标准类型
行业标准-有色金属
标准状态
现行
发布日期
2021-12-02
实施日期
2022-04-01
发布单位/组织
工业和信息化部
归口单位
-
适用范围
本文件适用于半导体行业用的钯蒸发料。
发布历史
-
2021年12月
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研制信息
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