GB/T 40577-2021 集成电路制造设备术语

GB/T 40577-2021 Terminology for integrated circuit(IC) manufacturing equipment

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基本信息

标准号

GB/T 40577-2021

标准类型

国家标准

标准状态

现行

中国标准分类号（CCS）

L95/99 电子工业生产设备

国际标准分类号（ICS）

31.220 电子电信设备用机电元件

发布日期

2021-10-11

实施日期

2022-05-01

发布单位/组织

国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会

归口单位

全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)

适用范围

本文件规定了集成电路（IC)制造设备的基本和常用术语，包括基础术语，晶体生长加工设备、掩模制造设备、光刻与刻蚀设备、掺杂设备、薄膜淀积设备、清洗设备、封装设备、检测设备的术语及公用部件术语。
本文件适用于集成电路制造设备的设计开发、生产和应用，也适用于集成电路制造设备的科研、教学和出版工作。

发布历史

2021年10月

GB/T 40577-2021　集成电路制造设备术语

当前标准现行 2021-10-11

文前页预览

研制信息

起草单位：: 中国电子技术标准化研究院、浙江晶盛机电股份有限公司、中电科电子装备集团有限公司、北京北方华创微电子装备有限公司、中微半导体设备(上海)股份有限公司、上海微电子装备(集团)股份有限公司、东莞市中镓半导体科技有限公司、江苏卓远半导体有限公司

起草人：: 张军华、冯亚彬、曹可慰、曹建伟、裴会川、朱亮、周哲、武小娟、杜若昕、唐彩红、丁晓民、傅林坚、魏唯、田涛、刘英斌、李国平、王宏智

出版信息：: 页数：56页 | 字数：110 千字 | 开本：大16开

内容描述

ICS31.220

CCSL95

中华人民共和国国家标准

/—

GBT405772021

集成电路制造设备术语

()

TerminoloforinteratedcircuitICmanufacturineuiment

gyggqp

2021-10-11发布2022-05-01实施

国家市场监督管理总局

发布

国家标准化管理委员会

/—

GBT405772021

前言…………………………Ⅲ

1范围………………………1

2规范性引用文件…………………………1

3基础术语…………………1

4晶体生长加工设备………………………2

5掩模制造设备……………5

6光刻与刻蚀设备…………………………8

7掺杂设备…………………15

8薄膜淀积设备……………17

9清洗设备…………………23

10封装设备…………

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