GB/T 32653-2016 微机械系统加速度检波器

ICS25.040.40

N91

中华人民共和国国彖标准

GB/T32653—2016

微机械系统加速度检波器

Microelectromechanicalsystemaccelerationgeophone

2016-04-25发布2017-05-01实施

GB/T32653—2016

目次

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1范围1

2规范性引用文件1

3术语和定义1

4标记2

5要求2

5.1外观2

5.2环境适应性2

5.3单分量MEMS加速度检波器技术参数3

5.4三分量MEMS加速度检波器技术参数3

6试验方法4

6.1试验条件4

6.2外观检查4

6.3环境适应性试验4

6.4单分量MEMS加速度检波器技术参数测试5

6.5三分量MEMS加速度检波器技术参数测试11

7检验规则13

7.1出厂检验13

7.2型式检验13

8标志、包装、运输、贮存14

8.1标志14

8.2包装14

8.3运输14

8.4贮存15

GB/T32653—2016

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刖吕

本标准按照GB/T1.1—2009给出的规则起草。

请注意本文件的某些内容有可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任。

本标准由中华人民共和国工业和信息化部提出。

本标准由全国电子测量仪器标准化技术委员会(SAC/TC153)归口。

本标准起草单位:威海双丰电子集团有限公司、北京大学、哈尔滨工业大学。

本标准主要起草人：田殿仓、杨仲华、牛德芳、唐晓刚、高成臣、陈伟平、丛方圆。

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GB/T32653—2016

微机械系统加速度检波器

1范围

本标准规定了微机械系统加速度检波器的术语和定义、标记、要求、试验方法、检验规则、标志、包

装、运输、贮存。

本标准适用于地震勘探用微机械系统加速度检波器。

2规范性引用文件

下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文

件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。

GB/T191包装储运图示标志

GB/T2829-2002周期检验计数抽样程序及表（适用于对过程稳定性的检验）

GB/T6587—2012电子测量仪器通用规范

3术语和定义

下列术语和定义适用于本文件。

3.1

微机械系统加速度检波器microelectromechanicalsystemaccelerationgeophone

MEMS加速度检波器

由微电子机械系统构成的，能检测振动加速度的地震传感器。

3.2

三分量MEMS加速度检波器MEMSthreecomponentsaccelerationgeophone

由三个MEMS加速度检波器芯体组成，能接受同一物理点上三个不同方向振动加速度的地震传

感器。

3.3

灵敏度温度系数sensitivitythermalcoefficient

满量程条件下,MEMS加速度检波器灵敏度随单位温度的相对变化量。

3.4

输出漂移outputoffset

加速度为零时,MEMS加速度检波器的输出。

3.5

输出漂移温度系数offsetthermalcoefficient

单位温度变化所引起的MEMS加速度检波器输出漂移的变化。

3.6

失真度distortion

特定频率的标准正弦波，用规定的速度驱动MEMS加速度检波器,MEMS加速度检波器输出信号

谐波分量的均方根值与基波分量有效值之比的百分数。

1

GB/T32653—2016

3.7

绝缘电阻isolationresistance

MEMS加速度检波器输出端与壳体之间的电阻值。

3.8

矢量保真度vectorfidelity

（MEMS单分量加速度检波器〉单位加速度垂直于丁作轴方向激励时，检波器输出电压与工作轴方

向灵敏度的比，用分贝数表示。

〈三分量MEMS加速度检波器〉受到来自一个坐标轴向（如X方向）的振动时，另外两个轴向（如

丫、Z方向）的输出信号分别与该轴向输出信号之比。

注：矢量保真度用分贝表示。

3.9

极性polarity

表示MEMS加速度检波器激励方向与输岀电信号方向的参数。

4标记

规格型号表示方法如下：

MEMS-XXX

可测加速度量程（士g）

微电子机械系统

示例：

量程为±2g（峰值）的MEMS加速度检波器表示为：MEM&002。

5要求

5.1外观

MEMS加速度检波器外观要求如下：

-MEMS加速度检波器表面应无毛刺、腐蚀或其他变形现象，型号、规格、制造年月应标识清晰；

——护壳及密封件应表面光滑，无明显缺陷；紧固件和尾锥无锈蚀，无松动；

——引出线的表面无破损，连接器无变形、牢固可靠；

-MEMS加速度检波器和插头应有明显的极性标记,MEMS加速度检波器单元应有清晰的型

号、规格及编号；

一三分量MEMS加速度检波器顶盖应有矢量标记、水平指示、调节装置，引出线上应有轴向

标志。

5.2环境适应性

MEMS加速度检波器经受表1的条件试验后，应能正常工作。

2

GB/T32653—2016

表1适应环境要求

序号项目要求

1T.作温度-40°C-70°C

2振动GB/T6587—2012中第ID组

5.3单分量MEMS加速度检波器技术参数

MEMS加速度检波器技术参数应符合表2规定。

表2MEMS加速度检波器技术参数(20t!±3°C)

序号项目技术参数要求

量程

1±0.2、士1、±2、士3

kGal

灵敏度

21〜2

V/kGal

灵敏度温度系数

3±3.OX1O-\±1.OX1C）_,、士3.0X10T

°C-1

线性度

40.25.0.5J

%

输川漂移

5<±100X±200X±300

Gal

输出漂移温度系数

6±100、±200、±300

mGal/°C

T•作频带

75〜500、3~500、1〜500

Hz

噪声（1Hz〜500Hz）

8<10<<100X1000