JJF 1932-2021 椭偏仪校准规范
JJF 1932-2021 Calibration Specification for Ellipsometers
国家计量技术规范JJF
中文简体
现行
页数:24页
|
格式:PDF
基本信息
发布历史
-
2021年12月
文前页预览
研制信息
- 起草单位:
- 中国计量科学研究院、中国兵器工业第二〇五研究所
- 起草人:
- 刘文德、陈赤、王雷
- 出版信息:
- 页数:24页 | 字数:29 千字 | 开本: 大16开
内容描述
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