JJF 1932-2021 椭偏仪校准规范
JJF 1932-2021 Calibration Specification for Ellipsometers
国家计量技术规范JJF
中文简体
现行
页数：24页
|
格式：PDF
基本信息
标准号
JJF 1932-2021
标准类型
国家计量技术规范JJF
标准状态
现行
中国标准分类号（CCS）
-
国际标准分类号（ICS）
-
发布日期
2021-12-08
实施日期
2022-06-08
发布单位/组织
国家市场监督管理总局
归口单位
全国光学计量技术委员会
适用范围
本规范适用于波长范围在250 nm~2 000 nm内的椭偏仪的校准。
发布历史
-
2021年12月
文前页预览
研制信息
- 起草单位：
- 中国计量科学研究院、中国兵器工业第二〇五研究所
- 起草人：
- 刘文德、陈赤、王雷
- 出版信息：
- 页数：24页 | 字数：29 千字 | 开本： 大16开
内容描述
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