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T/CAQI 368-2023 金刚石制备 微波等离子体化学气相沉积设备

T/CAQI 368-2023 Diamond preparation using microwave plasma chemical vapor deposition equipment

团体标准 中文(简体) 现行 页数：0页 | 格式：PDF

基本信息

标准号
T/CAQI 368-2023
标准类型
团体标准
标准状态
现行
中国标准分类号（CCS）
-
国际标准分类号（ICS）
71.040.10 化学实验室、实验室设备
发布日期
2023-12-25
实施日期
2024-01-25
发布单位/组织
-
归口单位
中国质量检验协会
适用范围
主要技术内容:本文件规定了制备金刚石的微波等离子体化学气相沉积设备（以下简称MPCVD设备）的设备原理及分类、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。本文件适用于制备金刚石的微波模式为单模、多模的MPCVD设备

发布历史

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研制信息

起草单位：
铂世光（上海）技术有限公司、上海征世科技股份有限公司、西安电子科技大学芜湖研究院、中国科学技术大学物理学院、武汉工程大学材料科学与工程学院、武汉工程大学等离子体化学与新材料湖北省重点实验室、山东大学新一代半导体材料研究院、济南金刚石科技有限公司
起草人：
胡常青、赵建海、蒋裕胜、满卫东、高春燕、任泽阳、祝巍、付萍、赵洪阳、王希玮、王笃福
出版信息：
页数：- | 字数：- | 开本： -

内容描述

暂无内容

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