T/CHBAS 54-2024 电子工业用气体 三氟化氮混合气
T/CHBAS 54-2024 Nitrogen trifluoride mixed gas used in the electronics industry
团体标准
中文(简体)
现行
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|
格式：PDF
基本信息
标准号
T/CHBAS 54-2024
标准类型
团体标准
标准状态
现行
发布日期
2024-04-19
实施日期
2024-04-19
发布单位/组织
-
归口单位
河北省标准化协会
适用范围
主要技术内容:本文件规定了电子工业用气体三氟化氮混合气（以下简称三氟化氮混合气） 的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、 储存和安全的要求。本文件适用于半导体电子工业领域。 本文件中的三氟化氮混合气的平衡气多为氦气、氩气、氮气，也可以是其他不与三氟化氮混合气发生化学反应，且不影响反应工艺的平衡气
发布历史
-
2024年04月
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研制信息
- 起草单位：
- 中船（邯郸）派瑞特种气体股份有限公司、中国船舶集团有限公司第七一八 研究所、中船（邯郸）派瑞氢能科技有限公司
- 起草人：
- 殷越玲、崔雯、李旭、 王星帅、 柳彤、张净普、陈良、薛贺来
- 出版信息：
- 页数：- | 字数：- | 开本： -
内容描述
暂无内容
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