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T/ICMTIA 2-2019 集成电路用过氧化氢

T/ICMTIA 2-2019 Integrated circuits with hydrogen peroxide

团体标准 中文(简体) 现行 页数：0页 | 格式：PDF

基本信息

标准号
T/ICMTIA 2-2019
标准类型
团体标准
标准状态
现行
中国标准分类号（CCS）
G 化工
国际标准分类号（ICS）
71.060.20 氧化物
发布日期
2019-04-17
实施日期
2019-10-10
发布单位/组织
-
归口单位
中关村集成电路材料产业技术创新联盟
适用范围
范围:本标准规定了集成电路用过氧化氢的要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存; 主要技术内容:本标准规定了集成电路用过氧化氢产品的性状要求、技术规格和指标；含量测定、色度测定、酸度测定、总有机碳测定、阴离子测定、金属离子测定、颗粒测定等测定方法；还规定了检验规则，及标志、包装、运输和储存要求等

发布历史

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研制信息

起草单位：
苏州晶瑞化学股份有限公司、同济大学、北方集成电路技术创新中心（北京）有限公司、中芯国际集成电路制造（北京）有限公司、黎明化工研究设计院有限责任公司
起草人：
刘兵、钱森林、王洪华、傅华、高小云、康劲、葛军、赵健、柴春玲、赵晓东、张惠平
出版信息：
页数：- | 字数：- | 开本： -

内容描述

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