T/DLSHXH 008-2022 电子特气 双（二乙基氨基）硅烷
T/DLSHXH 008-2022 Di(diethylamino)silane is an example of electronic gas
团体标准
中文(简体)
现行
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格式：PDF
基本信息
标准号
T/DLSHXH 008-2022
标准类型
团体标准
标准状态
现行
发布日期
2022-09-30
实施日期
2022-10-20
发布单位/组织
-
归口单位
大连市石油和化工行业协会
适用范围
主要技术内容:本标准规定了双（二乙基氨基）硅烷的技术要求、检验规则、试验方法、标志、包装、贮运和安全信息。本标准适用于以工业级双（二乙基氨基）硅烷为原料，经精馏、过滤提纯制得的电子级成品双（二乙基氨基）硅烷。该产品主要用于低温制备SiO2膜和硅基高介电薄膜的前驱体
发布历史
-
2017年08月
-
2022年09月
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研制信息
- 起草单位：
- 大连科利德光电子材料有限公司、大连市石油和化工行业协会
- 起草人：
- 施旖旎、焦中鹏、李晓婷、李文博、王明月、毕聪智
- 出版信息：
- 页数：- | 字数：- | 开本： -
内容描述
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