T/DLSHXH 008-2022 电子特气 双（二乙基氨基）硅烷
T/DLSHXH 008-2022 Di(diethylamino)silane is an example of electronic gas
团体标准
中文(简体)
现行
页数：0页
|
格式：PDF
基本信息
标准号
T/DLSHXH 008-2022
标准类型
团体标准
标准状态
现行
发布日期
2022-09-30
实施日期
2022-10-20
发布单位/组织
-
归口单位
大连市石油和化工行业协会
适用范围
主要技术内容:本标准规定了双（二乙基氨基）硅烷的技术要求、检验规则、试验方法、标志、包装、贮运和安全信息。本标准适用于以工业级双（二乙基氨基）硅烷为原料，经精馏、过滤提纯制得的电子级成品双（二乙基氨基）硅烷。该产品主要用于低温制备SiO2膜和硅基高介电薄膜的前驱体
发布历史
-
2017年08月
-
2022年09月
文前页预览
当前资源暂不支持预览
研制信息
- 起草单位：
- 大连科利德光电子材料有限公司、大连市石油和化工行业协会
- 起草人：
- 施旖旎、焦中鹏、李晓婷、李文博、王明月、毕聪智
- 出版信息：
- 页数：- | 字数：- | 开本： -
内容描述
暂无内容
定制服务
推荐标准
- GB/T 50511-2022 煤矿井巷工程施工标准 2022-10-31
- GB/T 50508-2019 涤纶工厂设计标准 2019-07-10
- GB/T 50503-2014 兵器工业工厂废水监控规范(附条文说明) 2014-03-31
- GB 50505-2009 高炉煤气干法袋式除尘设计规范(附条文说明) 2009-06-17
- GB/T 50502-2009 建筑施工组织设计规范(附条文说明) 2009-05-13
- GB/T 50509-2009 灌区规划规范(附条文说明) 2009-07-08
- GB/T 50507-2019 铁路罐车清洗设施设计标准 2019-09-22
- GB 50515-2010 导(防)静电地面设计规范(附条文说明) 2010-05-31
- GB 50512-2009 冶金露天矿准轨铁路设计规范(附条文说明) 2009-05-13
- GB/T 50504-2009 民用建筑设计术语标准(附条文说明) 2009-05-13