T/DLSHXH 008-2022 电子特气 双（二乙基氨基）硅烷
T/DLSHXH 008-2022 Di(diethylamino)silane is an example of electronic gas
团体标准
中文(简体)
现行
页数：0页
|
格式：PDF
基本信息
标准号
T/DLSHXH 008-2022
标准类型
团体标准
标准状态
现行
发布日期
2022-09-30
实施日期
2022-10-20
发布单位/组织
-
归口单位
大连市石油和化工行业协会
适用范围
主要技术内容:本标准规定了双（二乙基氨基）硅烷的技术要求、检验规则、试验方法、标志、包装、贮运和安全信息。本标准适用于以工业级双（二乙基氨基）硅烷为原料，经精馏、过滤提纯制得的电子级成品双（二乙基氨基）硅烷。该产品主要用于低温制备SiO2膜和硅基高介电薄膜的前驱体
发布历史
-
2017年08月
-
2022年09月
文前页预览
当前资源暂不支持预览
研制信息
- 起草单位：
- 大连科利德光电子材料有限公司、大连市石油和化工行业协会
- 起草人：
- 施旖旎、焦中鹏、李晓婷、李文博、王明月、毕聪智
- 出版信息：
- 页数：- | 字数：- | 开本： -
内容描述
暂无内容
定制服务
推荐标准
- T/CEC 114-2016 闪络定位仪校准规范 2016-10-21
- T/CASAS 015-2022 碳化硅金属氧化物半导体场效应晶体管 （SiC MOSFET）功率循环试验方法 2022-07-18
- T/ZOIA 3002-2024 硅光电倍增管性能测试方法 2024-02-04
- T/SIAA 000011.1-2025 显示产品视觉健康技术规范 第1部分：视觉健康风险评估通则 2025-01-20
- T/JGXH 001-2018 激光设备机械安全防护规范 2018-11-14
- T/ZJCX 0014-2022 气流传感器 2022-06-22
- T/SBX 028-2019 TFT混合液晶密度测试方法 2019-12-24
- T/SIAA 000011.5-2025 显示产品视觉健康技术规范 第5部分：虚拟成像显示产品 2025-01-20
- T/CESA 1079-2020 绿色供应链管理评价规范 平板电视机制造业 2020-03-01
- T/CVIA 42-2022 液晶电视显示屏S-COF结构技术规范 2022-10-20