GB/T 47631-2026 光学功能薄膜 表观质量的扫描显微镜测试方法

ICS7108099

CCSG.15.

中华人民共和国国家标准

GB/T47631—2026

光学功能薄膜表观质量的扫描显微镜

测试方法

Opticalfunctionalfilms—Scanningmicroscopetestmethodsforapparentquality

2026-05-25发布2026-12-01实施

国家市场监督管理总局发布

国家标准化管理委员会

GB/T47631—2026

前言

本文件按照标准化工作导则第部分标准化文件的结构和起草规则的规定

GB/T1.1—2020《1:》

起草

。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利本文件的发布机构不承担识别专利的责任

。。

本文件由中国石油和化学工业联合会提出

。

本文件由全国光学功能薄膜材料标准化技术委员会归口

(SAC/TC431)。

本文件起草单位中国乐凯集团有限公司合肥乐凯科技产业有限公司中国科学院理化技术研究

:、、

所宁波激智科技股份有限公司江阴华美光电科技有限公司安徽省产品质量监督检验研究院

、、、。

本文件主要起草人夏江南高建辉周迪田坤孙璐阳刘世军齐海潮刘玉磊王上丹孙晶晶

:、、、、、、、、、、

徐倩倩周树云余洋姚帮本丁燕

、、、、。

Ⅰ

GB/T47631—2026

光学功能薄膜表观质量的扫描显微镜

测试方法

警告本文件符合所有关于使用高压和产生激光设备的正常和可接受预防措施

:。

1范围

本文件描述了通过扫描电子显微镜激光扫描共聚焦显微镜对光学功能薄膜产品

(SEM)、(CLSM),

表观质量的检测方法

。

本文件适用于光学功能薄膜

。

2规范性引用文件

本文件没有规范性引用文件

。

3术语和定义

下列术语和定义适用于本文件

。

31

.

膜内点inclusion

基体中的颗粒

。

32

.

膜外点surfaceparticle

超过的体积在表面上的颗粒

3/4。

33

.

凹坑pit

基体表面出现的小而尖锐近似圆形的凹陷

、。

34

.

划伤scratch

基体表面上的一维缺陷

。

35

.

沟槽groove

基体表面上具有深度和宽度的表面二维缺陷

。

4测试原理

41利用电子束与样品的相互作用通过电子光学系统信号检测与处理系统实现高分辨率的微

.SEM,、

观形貌成像

。

42利用单色激光扫描束经过照明针孔形成点光源对样品内焦平面上的每一点进行扫描样

.CLSM,,

品上的被照射点在检测器的检测针孔处成像由检测针孔后的光电倍增管逐点或逐线接收迅速在计算

,,

1