T/WHAS 062-2023 用于集成电路的光学临近效应校正软件设计导则
T/WHAS 062-2023 Guidelines for designing optical proximity correction software for integrated circuits
团体标准
中文(简体)
现行
页数：0页
|
格式：PDF
基本信息
标准号
T/WHAS 062-2023
标准类型
团体标准
标准状态
现行
发布日期
2023-12-26
实施日期
2024-01-10
发布单位/组织
-
归口单位
武汉标准化协会
适用范围
主要技术内容:本文件规定了用于集成电路的光学临近效应校正软件的设计原则、功能模块和设计要求。本文件适用于集成电路的光学临近效应校正软件的功能架构开发，采用干式及浸没式光刻技术的相关领域可参照使用
发布历史
-
2023年12月
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研制信息
- 起草单位：
- 武汉大学、武汉精测电子集团股份有限公司、武汉精一微仪器有限公司
- 起草人：
- 秦明、刘泽晟、宋毅、许益多、肖恩桥、彭飞、赵焱、熊逍、张国良、陈美通
- 出版信息：
- 页数：- | 字数：- | 开本： -
内容描述
暂无内容
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