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T/WHAS 062-2023 用于集成电路的光学临近效应校正软件设计导则

T/WHAS 062-2023 Guidelines for designing optical proximity correction software for integrated circuits

团体标准 中文(简体) 现行 页数：0页 | 格式：PDF

基本信息

标准号
T/WHAS 062-2023
标准类型
团体标准
标准状态
现行
中国标准分类号（CCS）
-
国际标准分类号（ICS）
35.080 软件开发和系统文件
发布日期
2023-12-26
实施日期
2024-01-10
发布单位/组织
-
归口单位
武汉标准化协会
适用范围
主要技术内容:本文件规定了用于集成电路的光学临近效应校正软件的设计原则、功能模块和设计要求。本文件适用于集成电路的光学临近效应校正软件的功能架构开发，采用干式及浸没式光刻技术的相关领域可参照使用

发布历史

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研制信息

起草单位：
武汉大学、武汉精测电子集团股份有限公司、武汉精一微仪器有限公司
起草人：
秦明、刘泽晟、宋毅、许益多、肖恩桥、彭飞、赵焱、熊逍、张国良、陈美通
出版信息：
页数：- | 字数：- | 开本： -

内容描述

暂无内容

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