T/WHAS 062-2023 用于集成电路的光学临近效应校正软件设计导则
T/WHAS 062-2023 Guidelines for designing optical proximity correction software for integrated circuits
团体标准
中文(简体)
现行
页数：0页
|
格式：PDF
基本信息
标准号
T/WHAS 062-2023
标准类型
团体标准
标准状态
现行
发布日期
2023-12-26
实施日期
2024-01-10
发布单位/组织
-
归口单位
武汉标准化协会
适用范围
主要技术内容:本文件规定了用于集成电路的光学临近效应校正软件的设计原则、功能模块和设计要求。本文件适用于集成电路的光学临近效应校正软件的功能架构开发，采用干式及浸没式光刻技术的相关领域可参照使用
发布历史
-
2023年12月
文前页预览
当前资源暂不支持预览
研制信息
- 起草单位：
- 武汉大学、武汉精测电子集团股份有限公司、武汉精一微仪器有限公司
- 起草人：
- 秦明、刘泽晟、宋毅、许益多、肖恩桥、彭飞、赵焱、熊逍、张国良、陈美通
- 出版信息：
- 页数：- | 字数：- | 开本： -
内容描述
暂无内容
定制服务
推荐标准
- T/IPIF 0026-2023 智慧零碳园区建设与评价指南 2023-09-28
- T/HYBX 0011-2019 氢气外用贴敷包 2019-10-31
- T/ZQCSH 078-2021 汽车4S店洗手间卫生要求 2021-09-16
- T/BAX 0005-2023 大型活动安保应急预案编制 2023-03-31
- T/ZJJXH 0010-2022 残疾人托养机构环境卫生管理规范 2022-07-14
- t/GDLC 009-2024 温室气体 产品碳足迹量化方法与要求 扳手 1970-01-01
- T/CPCIF 0076-2020 绿色设计产品评价技术规范 轮胎模具 2020-12-30
- T/CSES 111-2023 高温超净电袋复合除尘器 2023-08-29
- T/ZZB 2069-2021 铝合金伸缩梯 2021-03-01
- T/GDAQI 007-2019 特种设备事故应急现场处置方案编写导则 2019-04-15