T/WHQASA 12-2024 10.5G 化学气相沉积设备用下部加热基座
T/WHQASA 12-2024 10.5G Chemical Vapor Deposition equipment with lower heating base
团体标准
中文(简体)
现行
页数：0页
|
格式：PDF
基本信息
标准号
T/WHQASA 12-2024
标准类型
团体标准
标准状态
现行
发布日期
2024-12-30
实施日期
2024-12-30
发布单位/组织
-
归口单位
芜湖市质量与标准化协会
适用范围
范围:本文件规定了10.5G化学气相沉积设备用下部加热基座产品（以下简称“下部加热基座”）的技术要求、检测方法、检验规则以及包装、运输和贮存。
本文件适用于10.5G化学气相沉积设备用下部加热基座产品的研制、生产、检验和交付;
主要技术内容:1范围2规范性引用文件3术语和定义4要求5试验方法6检验规则7标志和随行文件8包装、运输和贮存
发布历史
-
2024年12月
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研制信息
- 起草单位：
- 芜湖通潮精密机械股份有限公司、合肥京东方显示技术有限公司、芜湖芯通半导体材料有限公司、芜湖长信科技股份有限公司、芜湖晶纯科技有限公司、安徽润景信息科技有限公司
- 起草人：
- 司奇峰、王慧、刘其贵、何新玉、熊宏祥、王玉亮、王宜申、吴小杰、郑建军、王茹、黄锦祥、张丽
- 出版信息：
- 页数：- | 字数：- | 开本： -
内容描述
暂无内容
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