1. 当前位置：
  2. 首页 >
  3. 团体标准 >
  4. T/WHQASA 12-2024

T/WHQASA 12-2024 10.5G 化学气相沉积设备用下部加热基座

T/WHQASA 12-2024 10.5G Chemical Vapor Deposition equipment with lower heating base

团体标准 中文(简体) 现行 页数：0页 | 格式：PDF

基本信息

标准号
T/WHQASA 12-2024
标准类型
团体标准
标准状态
现行
中国标准分类号（CCS）
G92 化工机械
国际标准分类号（ICS）
71.120.99 其他化工设备
发布日期
2024-12-30
实施日期
2024-12-30
发布单位/组织
-
归口单位
芜湖市质量与标准化协会
适用范围
范围:本文件规定了10.5G化学气相沉积设备用下部加热基座产品（以下简称“下部加热基座”）的技术要求、检测方法、检验规则以及包装、运输和贮存。 本文件适用于10.5G化学气相沉积设备用下部加热基座产品的研制、生产、检验和交付; 主要技术内容:1范围2规范性引用文件3术语和定义4要求5试验方法6检验规则7标志和随行文件8包装、运输和贮存

发布历史

文前页预览

当前资源暂不支持预览

研制信息

起草单位：
芜湖通潮精密机械股份有限公司、合肥京东方显示技术有限公司、芜湖芯通半导体材料有限公司、芜湖长信科技股份有限公司、芜湖晶纯科技有限公司、安徽润景信息科技有限公司
起草人：
司奇峰、王慧、刘其贵、何新玉、熊宏祥、王玉亮、王宜申、吴小杰、郑建军、王茹、黄锦祥、张丽
出版信息：
页数：- | 字数：- | 开本： -

内容描述

暂无内容

定制服务

    推荐标准

    相似标准推荐

    更多>