T/CMES 32001-2023 磁控溅射法制备钨铼合金氧化铟锡复合薄膜热电偶温度传感器工艺规范
T/CMES 32001-2023 Magnetron sputtering process specification for preparing indium oxide/tungsten-rhodium alloy/indium tin oxide (ITO/WR/ITO) composite thin films for thermocouple temperature sensors
团体标准
中文(简体)
现行
页数：0页
|
格式：PDF
基本信息
标准号
T/CMES 32001-2023
标准类型
团体标准
标准状态
现行
发布日期
2023-06-21
实施日期
2023-07-21
发布单位/组织
-
归口单位
中国机械工程学会
适用范围
主要技术内容:本文件给出了磁控溅射法制备钨铼合金氧化铟锡复合薄膜热电偶温度传感器工艺规范及相关规定
发布历史
-
2023年06月
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研制信息
- 起草单位：
- 西安交通大学、中北大学、中冶赛迪工程技术股份有限公司、上海交通大学、清华大学、北京临近空间飞行器系统工程研究所、西安慧金科技有限公司
- 起草人：
- 张仲恺、雷嘉明、李乐、刘兆钧、田边、方续东、韩香广、赵立波、董和磊、漆锐、谭庆、余维江、钟星立、冯科、张丛春、阮勇、崔占中、李小杰
- 出版信息：
- 页数：- | 字数：- | 开本： -
内容描述
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