T/CCGA 30003-2019 超纯三氟化氮
T/CCGA 30003-2019
团体标准
中文(简体)
现行
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格式：PDF
基本信息
标准号
T/CCGA 30003-2019
标准类型
团体标准
标准状态
现行
发布日期
2019-10-29
实施日期
2020-01-29
发布单位/组织
-
归口单位
中国工业气体工业协会
适用范围
主要技术内容:本标准规定了瓶装超纯三氟化氮的技术要求、试验方法、检验规则及包装、标志、运输、储存和安全。 本标准适用于电解合成粗品三氟化氮，通过精馏提纯生产的超纯三氟化氮。它主要用作电子工业中等离子体工艺蚀刻剂和化学气相沉积的清洗剂
发布历史
-
2019年10月
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研制信息
- 起草单位：
- 中国船舶重工集团公司第七一八研究所、中国工业气体工业协会
- 起草人：
- 郑秋艳、李翔宇、洑春干、孟祥军、孙秋丽、袁瑞玲、胡帅、曹红梅、宋芳芳
- 出版信息：
- 页数：- | 字数：- | 开本： -
内容描述
暂无内容
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