T/KSZZ 023-2025 半导体清洗设备塑材包覆件通用技术规范
T/KSZZ 023-2025
团体标准
中文(简体)
现行
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格式:PDF
基本信息
标准号
T/KSZZ 023-2025
标准类型
团体标准
标准状态
现行
发布日期
2025-03-13
实施日期
2025-03-19
发布单位/组织
-
归口单位
昆山市智能制造创新联盟
适用范围
主要技术内容:本文件规定了半导体清洗设备塑材包覆件的原材料、生产工艺、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。本文件适用于半导体清洗设备塑材包覆件(以下简称“包覆件”)的生产和检验
发布历史
-
2025年03月
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研制信息
- 起草单位:
- 苏州宝帆智能设备有限公司、苏州宝帆科技有限公司、苏州罗科自动化设备有限公司、昆山丰泽辉智能科技有限公司
- 起草人:
- 罗志方、白忠华、杨新国、徐小兵、李刚、吴章强、聂胜涛
- 出版信息:
- 页数:- | 字数:- | 开本: -
内容描述
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