T/QGCML 4860-2025 无掩模版紫外光刻机
T/QGCML 4860-2025
团体标准
中文(简体)
现行
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格式：PDF
基本信息
标准号
T/QGCML 4860-2025
标准类型
团体标准
标准状态
现行
发布日期
2025-05-22
实施日期
2025-06-06
发布单位/组织
-
归口单位
全国城市工业品贸易中心联合会
适用范围
主要技术内容:本文件规定了无掩模版紫外光刻机的术语定义、产品分类与结构、工作环境、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。本文件适用于无掩模版紫外光刻机的设计、研发、生产和检验
发布历史
-
2025年05月
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研制信息
- 起草单位：
- 托托科技（苏州）有限公司、苏州亿拓光电科技有限公司、苏州齐光致远科技有限公司、伊诺菲（苏州）科技有限公司
- 起草人：
- 严振中、高尧、曹春霞、王寅涛、高真真、胡进、王生吉、王倩
- 出版信息：
- 页数：- | 字数：- | 开本： -
内容描述
暂无内容
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