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T/ZZB 1373-2019 7N 光电子级超纯氨

T/ZZB 1373-2019 7N optical-grade ultra-pure ammonia

团体标准 中文(简体) 现行 页数：0页 | 格式：PDF

基本信息

标准号
T/ZZB 1373-2019
标准类型
团体标准
标准状态
现行
中国标准分类号（CCS）
G86 工业气体与化学气体
国际标准分类号（ICS）
71.100.20 工业气体
发布日期
2019-11-27
实施日期
2019-12-31
发布单位/组织
-
归口单位
浙江省质量协会
适用范围
主要技术内容:本标准规定了 7N 光电子级超纯氨的基本要求、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮运及安全要求和质量承诺。本标准规定的产品氨适用于半导体工业，氮化硅、氮化镓的化学气相沉积，也可用于硅或氧化硅的氮化等生产工艺所使用的氨气。分子式： NH3。相对分子质量： 17.031（按 2016 年国际相对原子量）

发布历史

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研制信息

起草单位：
本标准由浙江蓝箭万帮标准技术有限公司牵头组织制定。 本标准主要起草单位：海宁市英德赛电子有限公司。 本标准参与起草单位：浙江理工大学、嘉兴学院、杭州士兰明芯科技有限公司（排名不分先后）
起草人：
陈树大、戚栋明、周春阳、朱盛霞、周平、彭昆鹏、查春峰、潘佳伟、卢勇华、 王龙、赵晓兰、陈华燕（排名不分先后）
出版信息：
页数：- | 字数：- | 开本： -

内容描述

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