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YS/T 899-2013 高纯钽化学分析方法 痕量杂质元素的测定 辉光放电质谱法

YS/T 899-2013 Methods for chemical analysis of high purity tantalum—Determination of trace impurity element content—Glow discharge mass spectrometry

行业标准-有色金属 中文简体 废止 已被新标准代替，建议下载标准 YS/T 899-2024 | 页数：8页 | 格式：PDF

基本信息

标准号
YS/T 899-2013
标准类型
行业标准-有色金属
标准状态
废止
中国标准分类号（CCS）
H63 稀有高熔点金属及其合金
国际标准分类号（ICS）
77.120.99 其他有色金属及其合金
发布日期
2013-10-17
实施日期
2014-03-01
发布单位/组织
中华人民共和国工业和信息化部
归口单位
全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC 243)
适用范围
本标准规定了高纯钽中痕量元素含量的测定方法，测定元素见表1。
本标准适用于高纯钽中痕量元素含量的测定。除铌、钼、钨外各元素测定范围为1 μg/kg～5000 μg/kg，铌、钼和钨的测定范围为1 μg/kg～100 000 μg/kg。

发布历史

文前页预览

YS/T 899-2013 高纯钽化学分析方法 痕量杂质元素的测定 辉光放电质谱法-第1页
YS/T 899-2013 高纯钽化学分析方法 痕量杂质元素的测定 辉光放电质谱法-第2页
YS/T 899-2013 高纯钽化学分析方法 痕量杂质元素的测定 辉光放电质谱法-第3页

研制信息

起草单位：
北京有色金属研究总院、金川集团股份有限公司、东方电气集团峨嵋半导体材料有限公司
起草人：
李宝城、刘英、孙泽明、童坚、李继东、臧慕文、李娜、程紫辉、张江峰、邱平、秦芳林、文英、王攀峰
出版信息：
页数：8页 | 字数：8 千字 | 开本： 大16开

内容描述

ICS77.120.99

H63

中华人民共和国有色金属行业标准

/—

YST8992013

高纯钽化学分析方法

痕量杂质元素的测定

ㅤㅤㅤㅤ

辉光放电质谱法

Methodsforchemicalanalsisofhihurittantalum—

ygpy

—

Determinationoftraceimuritelementcontent

py

Glowdischaremasssectrometr

gpy

2013-10-17发布2014-03-01实施

中华人民共和国工业和信息化部发布

/—

YST8992013

高纯钽化学分析方法

痕量杂质元素的测定

辉光放电质谱法

1范围

,。

本标准规定了高纯钽中痕量元素含量的测定方法测定元素见表1

。、、/

本标准适用于高纯钽中痕量元素含量的测定除铌钼钨外各元素测定范围为1k~

μgg

/,、//。

5000gk铌钼和钨的测定范围为1k~100000k

μgμggμgg

2方法原理

,,

试料作为阴极进行辉光放电其表面原子被溅射而脱离试料进入辉光放电等离子体中离子化后再被

。,

导入质谱仪中进行测定在每一元素同位素质量数处以预设的扫描点数和积分时间对相应谱峰积分所

。,“”

得面积即为谱峰强度在缺少标准样品时计算机根据仪器软件中的典型相对灵敏度因子自动计算出

;,、

各元素的质量分数有标准样品时则需要通过在与被测样品相同的分析条件离子源结构以及测试条件

,。

下对标准样品进行独立测定获得相对灵敏度因子应用该相对灵敏度因子计算出各元素的质量分数

(),():

被测元素的含量以质量分数计按式计算

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