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T/CSEA 26-2023 电子束物理气相沉积用8YSZ陶瓷靶材 技术条件

T/CSEA 26-2023 Electron beam physical vapor deposition of 8YSZ ceramic target material for technical specifications

团体标准 中文(简体) 现行 页数：0页 | 格式：PDF

基本信息

标准号
T/CSEA 26-2023
标准类型
团体标准
标准状态
现行
中国标准分类号（CCS）
-
国际标准分类号（ICS）
25.220.01 表面处理和镀涂综合
发布日期
2023-02-07
实施日期
2023-03-01
发布单位/组织
-
归口单位
中国表面工程协会
适用范围
范围:本文件规定了采用化学共沉淀法、电熔法合成的高纯氧化钇部分稳定氧化锆（ZrO2(HfO2)-7~8 wt. %Y2O3）原材料所制备的陶瓷靶材的技术要求、质量保证，标志、包装、运输和贮存等。 本文件适用于电子束物理气相沉积用8YSZ陶瓷靶材; 主要技术内容:表18YSZ陶瓷靶材成分及杂质含量化学成分/wt. %主成分含量杂质含量Y2O3+ZrO2(HfO2)HfO2Y2O3Al2O3Fe2O3SiO2TiO2CaOMgOCl-碳残留≥99.65<27-8≤0.02≤0.02≤0.02≤0.02≤0.02≤0.02≤0.06≤0.15

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研制信息

起草单位：
北京金轮坤天特种机械有限公司、中国航发沈阳黎明航空发动机有限责任公司、北京航空航天大学
起草人：
何箐、邹 晗、王世兴、王璐、彭徽
出版信息：
页数：- | 字数：- | 开本： -

内容描述

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