T/CSEA 26-2023 电子束物理气相沉积用8YSZ陶瓷靶材 技术条件
T/CSEA 26-2023 Electron beam physical vapor deposition of 8YSZ ceramic target material for technical specifications
团体标准
中文(简体)
现行
页数:0页
|
格式:PDF
基本信息
标准号
T/CSEA 26-2023
标准类型
团体标准
标准状态
现行
发布日期
2023-02-07
实施日期
2023-03-01
发布单位/组织
-
归口单位
中国表面工程协会
适用范围
范围:本文件规定了采用化学共沉淀法、电熔法合成的高纯氧化钇部分稳定氧化锆(ZrO2(HfO2)-7~8 wt. %Y2O3)原材料所制备的陶瓷靶材的技术要求、质量保证,标志、包装、运输和贮存等。
本文件适用于电子束物理气相沉积用8YSZ陶瓷靶材;
主要技术内容:表18YSZ陶瓷靶材成分及杂质含量化学成分/wt. %主成分含量杂质含量Y2O3+ZrO2(HfO2)HfO2Y2O3Al2O3Fe2O3SiO2TiO2CaOMgOCl-碳残留≥99.65<27-8≤0.02≤0.02≤0.02≤0.02≤0.02≤0.02≤0.06≤0.15
发布历史
-
2023年02月
文前页预览
当前资源暂不支持预览
研制信息
- 起草单位:
- 北京金轮坤天特种机械有限公司、中国航发沈阳黎明航空发动机有限责任公司、北京航空航天大学
- 起草人:
- 何箐、邹 晗、王世兴、王璐、彭徽
- 出版信息:
- 页数:- | 字数:- | 开本: -
内容描述
暂无内容
定制服务
推荐标准
- T/CAPE 10101-2021 设备润滑管理导则 2021-11-30
- T/NDAS 44-2021 绿色供应链管理体系 组织评级指南 2021-12-03
- T/CCPITCSC 112-2023 市场采购贸易 采购代理服务规范 2023-01-15
- T/DGSWLHYXH 012-2021 商贸物流零担运输服务规范 2021-12-25
- T/ZQBJXH 028.2-2022 家政服务职业技能培训规范 第2部分 母婴护理 2022-12-30
- T/GDESG 02-2023 在线监测监控系统运营人员职业技能评价 2023-09-25
- T/SZCSR 001-2022 企业ESG评价规范 2022-05-12
- T/HNCAA 026-2021 测量设备计量溯源要求识别和检定校准结果确认 2021-12-12
- T/ZAII 020-2019 大型仪器设备共享应用平台通用要求 2019-10-25
- T/LSSYXH 01-2023 制止酒店宴席餐饮浪费行为规范 2023-07-10