T/CSEA 26-2023 电子束物理气相沉积用8YSZ陶瓷靶材 技术条件
T/CSEA 26-2023 Electron beam physical vapor deposition of 8YSZ ceramic target material for technical specifications
团体标准
中文(简体)
现行
页数:0页
|
格式:PDF
基本信息
标准号
T/CSEA 26-2023
标准类型
团体标准
标准状态
现行
发布日期
2023-02-07
实施日期
2023-03-01
发布单位/组织
-
归口单位
中国表面工程协会
适用范围
范围:本文件规定了采用化学共沉淀法、电熔法合成的高纯氧化钇部分稳定氧化锆(ZrO2(HfO2)-7~8 wt. %Y2O3)原材料所制备的陶瓷靶材的技术要求、质量保证,标志、包装、运输和贮存等。
本文件适用于电子束物理气相沉积用8YSZ陶瓷靶材;
主要技术内容:表18YSZ陶瓷靶材成分及杂质含量化学成分/wt. %主成分含量杂质含量Y2O3+ZrO2(HfO2)HfO2Y2O3Al2O3Fe2O3SiO2TiO2CaOMgOCl-碳残留≥99.65<27-8≤0.02≤0.02≤0.02≤0.02≤0.02≤0.02≤0.06≤0.15
发布历史
-
2023年02月
文前页预览
当前资源暂不支持预览
研制信息
- 起草单位:
- 北京金轮坤天特种机械有限公司、中国航发沈阳黎明航空发动机有限责任公司、北京航空航天大学
- 起草人:
- 何箐、邹 晗、王世兴、王璐、彭徽
- 出版信息:
- 页数:- | 字数:- | 开本: -
内容描述
暂无内容
定制服务
推荐标准
- DB35/T 1586-2016 石油产品运动黏度全自动测定方法 2016-06-28
- DB35/T 1588-2016 燃生物质成型燃料工业锅炉能效限定值 2016-06-28
- DB35/T 1589-2016 雷电监测技术规范 2016-06-28
- DB35/T 1590-2016 气候可行性论证通则 2016-06-28
- DB35/T 801-2016 竹浆粘胶纤维混纺针织面料 2016-06-28
- DB31/T 1017-2016 工作场所空气中甲苯二异氰酸酯的测定 浸渍滤膜采集-高效液相色谱法 2016-11-11
- DB11/T 409-2016 医院感染性疾病科室内空气卫生质量要求 2016-12-22
- DB35/T 1587-2016 亚麻服装通用技术要求 2016-06-28
- DB35/T 1591-2016 智能快件箱运营服务规范 2016-06-28
- DB35/T 1584-2016 天然气中硫化氢含量的测定 层析法 2016-06-28