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SJ/T 11829.1-2022 晶体硅光伏电池用等离子体增强化学气相淀积（PECVD）设备 第1部分：管式PECVD设备

SJ/T 11829.1-2022 SJ/T 11829.1-2022 Plasma-enhanced chemical vapor deposition (PECVD) equipment for crystalline silicon photovoltaic cells - Part 1: Tubular PECVD equipment

行业标准-电子 简体中文 现行 页数：0页 | 格式：PDF

基本信息

标准号
SJ/T 11829.1-2022
标准类型
行业标准-电子
标准状态
现行
中国标准分类号（CCS）
L95/99 电子工业生产设备
国际标准分类号（ICS）
31.550 电子产品生产设备
发布日期
2022-10-20
实施日期
2023-01-01
发布单位/组织
工业和信息化部
归口单位
-
适用范围
-

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