T/DLSHXH 015-2024 电子气体 乙硼烷/氮气混合气体
T/DLSHXH 015-2024 Electronic gas mixture of boron trifluoride and nitrogen gas
团体标准
中文(简体)
现行
页数：0页
|
格式：PDF
基本信息
标准号
T/DLSHXH 015-2024
标准类型
团体标准
标准状态
现行
发布日期
2024-08-01
实施日期
2024-11-01
发布单位/组织
-
归口单位
大连市石油和化工行业协会
适用范围
主要技术内容:本文件规定了电子气体乙硼烷/氮气混合气体的技术要求、制备、采样、试验方法、检验规则、标志、包装、贮存、运输及安全信息。本文件适用于集成电路等电子工业制造中使用的乙硼烷/氮气混合气体
发布历史
-
2024年08月
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研制信息
- 起草单位：
- 大连科利德光电子材料有限公司、大连市石油和化工行业协会、全椒科利德电子材料有限公司
- 起草人：
- 施旖旎、王明月、李庆东、张哲、于洪涛、阮树堃、张英达
- 出版信息：
- 页数：- | 字数：- | 开本： -
内容描述
暂无内容
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