T/DLSHXH 015-2024 电子气体 乙硼烷/氮气混合气体
T/DLSHXH 015-2024 Electronic gas mixture of boron trifluoride and nitrogen gas
团体标准
中文(简体)
现行
页数：0页
|
格式：PDF
基本信息
标准号
T/DLSHXH 015-2024
标准类型
团体标准
标准状态
现行
发布日期
2024-08-01
实施日期
2024-11-01
发布单位/组织
-
归口单位
大连市石油和化工行业协会
适用范围
主要技术内容:本文件规定了电子气体乙硼烷/氮气混合气体的技术要求、制备、采样、试验方法、检验规则、标志、包装、贮存、运输及安全信息。本文件适用于集成电路等电子工业制造中使用的乙硼烷/氮气混合气体
发布历史
-
2024年08月
文前页预览
当前资源暂不支持预览
研制信息
- 起草单位：
- 大连科利德光电子材料有限公司、大连市石油和化工行业协会、全椒科利德电子材料有限公司
- 起草人：
- 施旖旎、王明月、李庆东、张哲、于洪涛、阮树堃、张英达
- 出版信息：
- 页数：- | 字数：- | 开本： -
内容描述
暂无内容
定制服务
推荐标准
- T/EJCCCSE 201-2024 智能四轴数控精雕机 2024-12-18
- T/CEEIA 600-2022 教育机器人技术规范 2022-08-01
- T/ZHAA 1-2022 蓝光激光定向能量沉积增材制造高反射材料工艺 2022-05-25
- T/ZSA 244-2024 数字化单焊炬一体焊接机器人 1970-01-01
- T/ZAS 2010-2022 可转位套式面铣刀 2022-06-06
- T/CMEPCA 039-2024 防爆集装箱作业机器人运维规范 2024-11-30
- T/CASMES 395-2024 高精密轧制丝杆原材料技术要求 2024-10-18
- T/QGCML 4491-2024 植绒加工用磨平装置 2024-09-09
- T/SDMTGM 0015-2024 冲压成形件表面缺陷的机器视觉在线检测方法 2024-10-16
- T/WLJC 58-2019 晶片精密研磨盘用修正轮 2019-04-22