T/DLSHXH 015-2024 电子气体 乙硼烷/氮气混合气体
T/DLSHXH 015-2024 Electronic gas mixture of boron trifluoride and nitrogen gas
团体标准
中文(简体)
现行
页数：0页
|
格式：PDF
基本信息
标准号
T/DLSHXH 015-2024
标准类型
团体标准
标准状态
现行
发布日期
2024-08-01
实施日期
2024-11-01
发布单位/组织
-
归口单位
大连市石油和化工行业协会
适用范围
主要技术内容:本文件规定了电子气体乙硼烷/氮气混合气体的技术要求、制备、采样、试验方法、检验规则、标志、包装、贮存、运输及安全信息。本文件适用于集成电路等电子工业制造中使用的乙硼烷/氮气混合气体
发布历史
-
2024年08月
文前页预览
当前资源暂不支持预览
研制信息
- 起草单位：
- 大连科利德光电子材料有限公司、大连市石油和化工行业协会、全椒科利德电子材料有限公司
- 起草人：
- 施旖旎、王明月、李庆东、张哲、于洪涛、阮树堃、张英达
- 出版信息：
- 页数：- | 字数：- | 开本： -
内容描述
暂无内容
定制服务
推荐标准
- T/CASMES 280-2023 柔性光伏支架建设应用技术规范 2023-12-29
- T/ZZB 2858-2022 集成电路 小外形封装引线框架 2022-12-08
- T/CIE 133-2022 磁随机存储器件数据保持时间测试方法 2022-08-10
- T/QGCML 668-2023 平板电脑安全使用和检验技术规范 2023-03-07
- T/GDWCA 0010-2018 USB2.0接口转换线 2018-01-31
- T/CIET 084-2023 电子器件碳中和节能产品评价规范 2023-04-20
- T/CECA 27-2017 有可靠性指标的金属氧化物压敏电阻器总规范 2019-03-11
- T/QGCML 628-2023 电路板印刷工艺技术规程 2023-02-07
- T/CIE 078-2020 工业级高可靠集成电路评价 第13部分： 湿度传感器 2020-06-08
- T/ZZB 1851-2020 VH条形连接器 2020-11-16