T/DLSHXH 007-2022 电子特气 三氟碘甲烷
T/DLSHXH 007-2022 Electronic specialty gas trifluoromethane iodine
团体标准
中文(简体)
现行
页数：0页
|
格式：PDF
基本信息
标准号
T/DLSHXH 007-2022
标准类型
团体标准
标准状态
现行
发布日期
2022-09-30
实施日期
2022-10-20
发布单位/组织
-
归口单位
大连市石油和化工行业协会
适用范围
主要技术内容:本标准规定了三氟碘甲烷的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、贮运及安全信息的要求。本标准适用于以工业级三氟碘甲烷为原料，经精馏提纯制得的三氟碘甲烷产品。该产品主要用于半导体气相沉积加工腔室的清洗或等离子体的刻蚀
发布历史
-
2017年08月
-
2020年09月
-
2022年09月
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研制信息
- 起草单位：
- 大连科利德光电子材料有限公司、大连市石油和化工行业协会
- 起草人：
- 施旖旎、赵银凤、李庆东、张蓉、李文博、王明月、姜涛
- 出版信息：
- 页数：- | 字数：- | 开本： -
内容描述
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