T/DLSHXH 007-2022 电子特气 三氟碘甲烷

T/DLSHXH 007-2022 Electronic specialty gas trifluoromethane iodine

团体标准 中文(简体) 现行 页数:0页 | 格式:PDF

基本信息

标准号
T/DLSHXH 007-2022
标准类型
团体标准
标准状态
现行
中国标准分类号(CCS)
-
国际标准分类号(ICS)
发布日期
2022-09-30
实施日期
2022-10-20
发布单位/组织
-
归口单位
大连市石油和化工行业协会
适用范围
主要技术内容:本标准规定了三氟碘甲烷的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、贮运及安全信息的要求。本标准适用于以工业级三氟碘甲烷为原料,经精馏提纯制得的三氟碘甲烷产品。该产品主要用于半导体气相沉积加工腔室的清洗或等离子体的刻蚀

发布历史

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研制信息

起草单位:
大连科利德光电子材料有限公司、大连市石油和化工行业协会
起草人:
施旖旎、赵银凤、李庆东、张蓉、李文博、王明月、姜涛
出版信息:
页数:- | 字数:- | 开本: -

内容描述

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