T/DLSHXH 007-2022 电子特气 三氟碘甲烷
T/DLSHXH 007-2022 Electronic specialty gas trifluoromethane iodine
团体标准
中文(简体)
现行
页数：0页
|
格式：PDF
基本信息
标准号
T/DLSHXH 007-2022
标准类型
团体标准
标准状态
现行
发布日期
2022-09-30
实施日期
2022-10-20
发布单位/组织
-
归口单位
大连市石油和化工行业协会
适用范围
主要技术内容:本标准规定了三氟碘甲烷的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、贮运及安全信息的要求。本标准适用于以工业级三氟碘甲烷为原料，经精馏提纯制得的三氟碘甲烷产品。该产品主要用于半导体气相沉积加工腔室的清洗或等离子体的刻蚀
发布历史
-
2017年08月
-
2020年09月
-
2022年09月
文前页预览
当前资源暂不支持预览
研制信息
- 起草单位：
- 大连科利德光电子材料有限公司、大连市石油和化工行业协会
- 起草人：
- 施旖旎、赵银凤、李庆东、张蓉、李文博、王明月、姜涛
- 出版信息：
- 页数：- | 字数：- | 开本： -
内容描述
暂无内容
定制服务
推荐标准
- T/CSP 16-2024 颗粒技术 实验室间比对指南 气体 物理吸附仪（BET）比表面积检测 2024-11-18
- T/CSTM 00044.2-2018 水环境腐蚀试验 第2部分：金属材料腐蚀试验 2018-10-16
- T/CZRX 0018-2024 可编程序控制器 基于低温环境的稳定性分级标准 2024-11-06
- T/CSP 10-2024 颗粒技术 生物气溶胶试验舱 2024-09-02
- T/SZIEIA 06-2024 X 射线探伤检测装置 2024-07-23
- T/CSP 7-2020 颗粒技术 紫外荧光生物气溶胶监测仪 技术要求 2020-12-21
- T/QGCML 1856-2023 便携式焊缝检测装置 2023-10-23
- T/CSP 11-2024 颗粒技术 生物气溶胶过滤效率测试方法 2024-09-02
- T/IFP 002-2020 维生素C粉筛分通过率检测方法 2020-01-18
- T/SMA 0044-2023 35kV线路同期线损率异常排查技术导则 2023-12-09