T/ZSM 0004-2022 工业用三氯化硼

范围:本文件规定了工业用三氯化硼的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存及安全 信息的要求；适用于以碳化硼为主要原料，经高温氯化工艺制备而得的工业用三氯化硼; 主要技术内容:“技术要求”章规定了三氯化硼纯度、氯气含量、四氯化硅含量、碳酰氯含量、氯化氢含量的技术要求。“试验方法”章结合工业用三氯化硼的检测实际，规定了三氯化硼的计算公式、以及氯气、四氯化硅、碳酰氯、氯化氢的测定方法。“检验规则”章规定了工业用三氯化硼产品的检验项目、组批、采样、检验判定以及尾气处理的要求。“标志、包装、运输、贮存” 章规定了标志、包装、运输、贮存的内容。“安全信息”对安全信息等方面的内容进行了规定，并参考GB/T 17874《电子特气 三氯化硼》的安全要求