T/CEMIA 041-2024 集成电路刻蚀设备用石英环

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标准号

T/CEMIA 041-2024

标准类型

团体标准

标准状态

现行

中国标准分类号（CCS）

Q35 石英玻璃

国际标准分类号（ICS）

81.040.30 玻璃产品

发布日期

2024-11-05

实施日期

2025-01-15

发布单位/组织

归口单位

中国电子材料行业协会

适用范围

范围:本文件规定了集成电路刻蚀设备用石英环的术语和定义、产品分类、技术要求、检验方法、检验规则、标志、包装、运输及贮存等内容。本文件适用于集成电路刻蚀设备用石英环; 主要技术内容:材料杂质含量、外观质量、尺寸要求、表面污染要求

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起草单位：: 江苏富乐德石英科技有限公司、上海强华实业股份有限公司、中国建筑材料科学研究总院有限公司、中国国检测试控股集团股份有限公司、江苏太平洋石英股份有限公司、久智光电子材料科技有限公司、浙江富同石英新材料有限公司、辽宁汉京半导体材料有限公司、北京凯德石英股份有限公司、浙江奥博石英科技股份有限公司、东海县奥博石英制品有限公司、浙江浩锐石英科技有限公司、中研颗精密机械（苏州）有限公司

起草人：: 杨军、林胜雄、张月清、李勇斌、周文华、蓝呈、王慧、钱卫刚、秦卫光、叶国闽、宋贤、高君、李来斌、张娟、张忠恕、盛文彬、沈根法、孔凡昌、汤芳、张月秋

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