T/CEMIA 041-2024 集成电路刻蚀设备用石英环
T/CEMIA 041-2024 Silicon carbide ring for integrated circuit etching equipment
团体标准
现行
页数：0页
|
格式：PDF
基本信息
标准号
T/CEMIA 041-2024
标准类型
团体标准
标准状态
现行
中国标准分类号（CCS）
-
国际标准分类号（ICS）
-
发布日期
-
实施日期
-
发布单位/组织
中国电子材料行业协会
归口单位
-
适用范围
本文件规定了集成电路刻蚀设备用石英环的术语和定义、产品分类、技术要求、检验方法、检验规则、标志、包装、运输及贮存等内容。
本文件适用于集成电路刻蚀设备用石英环。
发布历史
-
1970年01月
文前页预览
当前资源暂不支持预览
研制信息
- 起草单位：
- -
- 起草人：
- -
- 出版信息：
- 页数：- | 字数：17 千字 | 开本： -
内容描述
暂无内容
定制服务
推荐标准
- DB41/T 2922-2025 乡镇(街道)便民服务中心相对集中行政审批服务工作规范 2025-08-08
- DB41/T 2918-2025 乡镇级国土空间总体规划编制技术规程 2025-08-08
- DB41/T 2927-2025 区域性地震安全性评价技术规范 2025-08-08
- DB41/T 2923-2025 多要素城市地质调查数据库建设规范 2025-08-08
- DB41/T 2925-2025 异构数据融合技术指南 2025-08-08
- DB41/T 2926-2025 政务服务中心窗口管理规范 2025-08-08
- DB41/T 2917-2025 地质空间三棱台八叉树网格剖分编码规范 2025-08-08
- DB41/T 2924-2025 12345政务服务便民热线工单处理规范 2025-08-08
- DB41/T 2921-2025 液化石油气筛查技术规范 2025-08-08
- DB41/T 2919-2025 土地储备计划编制指南 2025-08-08