T/CEMIA 041-2024 集成电路刻蚀设备用石英环
T/CEMIA 041-2024 Silicon carbide ring for integrated circuit etching equipment
团体标准
现行
页数：0页
|
格式：PDF
基本信息
标准号
T/CEMIA 041-2024
标准类型
团体标准
标准状态
现行
中国标准分类号（CCS）
-
国际标准分类号（ICS）
-
发布日期
-
实施日期
-
发布单位/组织
中国电子材料行业协会
归口单位
-
适用范围
本文件规定了集成电路刻蚀设备用石英环的术语和定义、产品分类、技术要求、检验方法、检验规则、标志、包装、运输及贮存等内容。
本文件适用于集成电路刻蚀设备用石英环。
发布历史
-
1970年01月
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研制信息
- 起草单位：
- -
- 起草人：
- -
- 出版信息：
- 页数：- | 字数：17 千字 | 开本： -
内容描述
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