T/CHBAS 33-2023 集成电路用混合气体 4.5%氯化氢/0.9%氢/氖
T/CHBAS 33-2023 Mixed gas for integrated circuits, 4.5% hydrogen chloride/0.9% hydrogen/neon
团体标准
中文(简体)
现行
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|
格式：PDF
基本信息
标准号
T/CHBAS 33-2023
标准类型
团体标准
标准状态
现行
发布日期
2023-07-27
实施日期
2023-07-27
发布单位/组织
-
归口单位
河北省标准化协会
适用范围
主要技术内容:本文件规定了集成电路用混合气体4.5%氯化氢/0.9%氢/氖的技术要求、试验方法、检验规则、标志、 标签、 包装、运输、贮存和安全的要求。本文件适用于集成电路用混合气体4.5%氯化氢/0.9%氢/氖（以下简称4.5%氯化氢/0.9%氢/氖），其它组分比例的氯化氢/氢/氖混合气可参照执行
发布历史
-
2023年07月
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研制信息
- 起草单位：
- 中船（邯郸）派瑞特种气体股份有限公司、中国船舶集团有限公司第七一八 研究所、中国质量协会
- 起草人：
- 殷越玲、 贾宣东、 李帅楠、 李旭、魏晓娟、王蒙蒙、袁攀攀、吴冉冉
- 出版信息：
- 页数：- | 字数：- | 开本： -
内容描述
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