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T/CHBAS 33-2023 集成电路用混合气体 4.5%氯化氢/0.9%氢/氖

T/CHBAS 33-2023 Mixed gas for integrated circuits, 4.5% hydrogen chloride/0.9% hydrogen/neon

团体标准 中文(简体) 现行 页数：0页 | 格式：PDF

基本信息

标准号
T/CHBAS 33-2023
标准类型
团体标准
标准状态
现行
中国标准分类号（CCS）
-
国际标准分类号（ICS）
99 其他
发布日期
2023-07-27
实施日期
2023-07-27
发布单位/组织
-
归口单位
河北省标准化协会
适用范围
主要技术内容:本文件规定了集成电路用混合气体4.5%氯化氢/0.9%氢/氖的技术要求、试验方法、检验规则、标志、 标签、 包装、运输、贮存和安全的要求。本文件适用于集成电路用混合气体4.5%氯化氢/0.9%氢/氖（以下简称4.5%氯化氢/0.9%氢/氖），其它组分比例的氯化氢/氢/氖混合气可参照执行

发布历史

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研制信息

起草单位：
中船（邯郸）派瑞特种气体股份有限公司、中国船舶集团有限公司第七一八 研究所、中国质量协会
起草人：
殷越玲、 贾宣东、 李帅楠、 李旭、魏晓娟、王蒙蒙、袁攀攀、吴冉冉
出版信息：
页数：- | 字数：- | 开本： -

内容描述

暂无内容

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