T/QGCML 4791-2024 半导体薄膜沉积 技术要求
T/QGCML 4791-2024
团体标准
中文(简体)
现行
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格式：PDF
基本信息
标准号
T/QGCML 4791-2024
标准类型
团体标准
标准状态
现行
发布日期
2024-10-17
实施日期
2024-11-01
发布单位/组织
-
归口单位
全国城市工业品贸易中心联合会
适用范围
主要技术内容:本文件规定了半导体薄膜沉积 技术要求的术语和定义、基本要求、在线监测、质量控制、检验方法。本文件适用于半导体薄膜沉积 技术要求的设计和检验
发布历史
-
2024年10月
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研制信息
- 起草单位：
- 江苏中芯沃达半导体科技有限公司、深圳市兆兴博拓科技股份有限公司、深圳市富尧科技有限公司、珠海市奔荣电子电路有限公司
- 起草人：
- 申学礼、靳振岗、张彩琴、姜锐、吕义山
- 出版信息：
- 页数：- | 字数：- | 开本： -
内容描述
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