T/QGCML 4791-2024 半导体薄膜沉积 技术要求
T/QGCML 4791-2024
团体标准
中文(简体)
现行
页数：0页
|
格式：PDF
基本信息
标准号
T/QGCML 4791-2024
标准类型
团体标准
标准状态
现行
发布日期
2024-10-17
实施日期
2024-11-01
发布单位/组织
-
归口单位
全国城市工业品贸易中心联合会
适用范围
主要技术内容:本文件规定了半导体薄膜沉积 技术要求的术语和定义、基本要求、在线监测、质量控制、检验方法。本文件适用于半导体薄膜沉积 技术要求的设计和检验
发布历史
-
2024年10月
文前页预览
当前资源暂不支持预览
研制信息
- 起草单位：
- 江苏中芯沃达半导体科技有限公司、深圳市兆兴博拓科技股份有限公司、深圳市富尧科技有限公司、珠海市奔荣电子电路有限公司
- 起草人：
- 申学礼、靳振岗、张彩琴、姜锐、吕义山
- 出版信息：
- 页数：- | 字数：- | 开本： -
内容描述
暂无内容
定制服务
推荐标准
- DL/T 326-2023 步进式引张线仪 2023-10-11
- DL/T 543-2023 火电厂水处理设备验收导则 2023-10-11
- DL/T 536-2023 交流耦合电容器及电容分压器使用技术条件 2023-10-11
- DL/T 347-2023 T型线夹 2023-10-11
- DL/T 298-2023 发电机定子绕组端部电晕检测与评定导则 2023-10-11
- DL/T 297-2023 汽轮发电机合金轴瓦超声检测 2023-10-11
- DL/T 296-2023 火电厂烟气脱硝技术导则 2023-10-11
- DL/T 438-2023 火力发电厂金属技术监督规程 2023-10-11
- DL/T 346-2023 设备线夹 2023-10-11
- DL/T 327-2023 步进式垂线坐标仪 2023-10-11