GB/T 47890-2026 高分辨率干膜光刻胶

ICS83180

CCSG.39

中华人民共和国国家标准

GB/T47890—2026

高分辨率干膜光刻胶

Highresolutiondryfilmphotoresist

2026-07-02发布2027-02-01实施

国家市场监督管理总局发布

国家标准化管理委员会

GB/T47890—2026

目次

前言

…………………………Ⅲ

范围

1………………………1

规范性引用文件

2…………………………1

术语和定义

3………………1

分类

4………………………2

要求

5………………………2

外观

5.1…………………2

基本性能

5.2……………3

应用性能

5.3……………3

有害物质限量

5.4………………………4

试验方法

6…………………4

标准试验条件

6.1………………………4

外观

6.2…………………4

长度

6.3…………………4

宽度

6.4…………………4

总厚度

6.5………………4

基材层厚度

6.6…………………………4

感光层厚度

6.7…………………………5

环形初粘力

6.8…………………………5

保护层揭离力

6.9………………………5

基材层剥离强度

6.10180°………………5

感光层剥离强度

6.11180°………………5

持粘性

6.12………………5

色相稳定性

6.13…………………………5

最短显影时间与感光层厚度比值

6.14…………………6

感光度

6.15………………6

附着性

6.16………………7

分辨率

6.17………………7

去感光层时间

6.18………………………8

耐酸性蚀刻性

6.19………………………8

抗电镀性

6.20……………9

曝光前后颜色变化

6.21………………10

掩孔性

6.22……………10

Ⅰ

GB/T47890—2026

有害物质限量

6.23……………………11

检验规则

7…………………11

检验分类

7.1……………11

组批与抽样

7.2…………………………11

出厂检验

7.3……………12

型式检验

7.4……………12

判定规则

7.5……………12

标志包装运输和贮存

8、、…………………12

标志

8.1…………………12

包装

8.2…………………12

运输

8.3…………………13

贮存

8.4…………………13

Ⅱ

GB/T47890—2026

前言

本文件按照标准化工作导则第部分标准化文件的结构和起草规则的规定

GB/T1.1—2020《1:》

起草

。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利本文件的发布机构不承担识别专利的责任

。。

本文件由中国石油和化学工业联合会提出

。

本文件由全国胶粘剂标准化技术委员会归口

(SAC/TC185)。

本文件起草单位浙江福莱新材料股份有限公司美信新材料股份有限公司江西惠美兴科技有限

:、、

公司上海橡胶制品研究所有限公司江苏斯迪克新材料科技股份有限公司杭州福斯特电子材料有限

、、、

公司上海工程技术大学珠海市能动科技光学产业有限公司合肥工业大学浙江欧仁新材料有限公

、、、、

司江苏南大光电材料股份有限公司广东新永泰新材料科技有限公司

、、。

本文件主要起草人杨晓明陈维斌刘罡沈雁陈晨李伟杰杨志永杨卫国刘平王博文

:、、、、、、、、、、

李耀邦潘大满

、。

Ⅲ

GB/T47890—2026

高分辨率干膜光刻胶

1范围

本文件规定了高分辨率干膜光刻胶的分类要求试验方法检验规则标志包装运输和贮存

、、、、、、。

本文件适用于印刷电路板等图像转移用高分辨率干膜光刻胶的设计生产和品质管控半导体液

、,、

晶显示有机发光二极管显示等领域用高分辨率干膜光刻胶参照执行

、。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款其中注日期的引用文

。,

件仅该日期对应的版本适用于本文件不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改单适用于

,;,()

本文件

。

包装储运图形符号标志

GB/T191

胶粘带剥离强度的试验方法

GB/T2792

计数抽样检验程序第部分按接收质量限检索的逐批检验抽样计划

GB/T2828.11:(AQL)

周期检查计数抽样程序及表适用于对过程稳定性的检验

GB/T2829()

胶粘带持粘性的试验方法

GB/T4851

运输包装收发货标志

GB/T6388

胶粘带厚度的试验方法

GB/T7125

压敏胶粘制品术语

GB/T22396

橡胶制品邻苯二甲酸酯类的测定

GB/T29608

胶粘带初粘性试验方法环形法

GB/T31125

胶粘带长度和宽度的测定

GB/T32370

电子电气产品中某些物质的测定第部分和

GB/T39560.44:CV-AAS、CV-AFS、ICP-OES

测定聚合物金属和电子件中的汞

ICP-MS、

电子电气产品中某些物质的测定第部分和法

GB/T39560.55:AAS、AFS、ICP-OESICP-MS

测定聚合物和电子件中镉铅铬以及金属中镉铅的含量

、、、

电子电气产品中某些物质的测定第部分气相色谱质谱仪测定聚

GB/T39560.66:-(GC-MS)

合物中的多溴联苯和多溴二苯醚

电子电气产品中某些物质的测定第部分六价铬比色法测定聚合物和

GB/T39560.7027-2:

电子件中的六价铬

[Cr(Ⅵ)]

3术语和定义

界定的以及下列术语和定义适用于本文件

GB/T22396。

31

.

干膜光刻胶dryfilmphotoresistDFR

;

感光干膜

以丙烯酸酯酚醛树脂或者马来酸酐等为主要原料添加感光单体等原材料制备感光层涂覆在

()、,,

1