JJF 1613-2017 掠入射X射线反射膜厚测量仪器校准规范
JJF 1613-2017 Calibration Specification for Thin Film Thickness Measurement Instruments by Grazing Incidence X-Ray Reflectivity
国家计量技术规范JJF
中文简体
现行
页数：20页
|
格式：PDF
基本信息
标准类型
国家计量技术规范JJF
标准状态
现行
中国标准分类号（CCS）
-
国际标准分类号（ICS）
-
发布日期
2017-02-28
实施日期
2017-05-28
发布单位/组织
国家质量监督检验检疫总局
归口单位
全国新材料与纳米计量技术委员会
适用范围
本规范适用于掠入射X射线反射膜厚测量仪器(以下简称仪器)的校准。
发布历史
-
2017年02月
文前页预览
研制信息
- 起草单位：
- 中国计量科学研究院
- 起草人：
- 任玲玲、高慧芳
- 出版信息：
- 页数：20页 | 字数：19 千字 | 开本： 大16开
内容描述
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