T/CASME 1520-2024 半导体制造真空腔体零部件表面保护涂层
T/CASME 1520-2024 Semiconductor manufacturing vacuum chamber component surface protective coating
团体标准
中文(简体)
现行
页数：0页
|
格式：PDF
基本信息
标准号
T/CASME 1520-2024
标准类型
团体标准
标准状态
现行
发布日期
2024-06-04
实施日期
2024-06-20
发布单位/组织
-
归口单位
中国中小商业企业协会
适用范围
范围:本文件适用于半导体制造真空腔体零部件表面保护涂层;
主要技术内容:本文件规定了半导体制造真空腔体零部件表面保护涂层的缩略语、材料、喷涂工艺、技术要求、试验方法、涂层检验和喷涂记录
发布历史
-
2024年06月
文前页预览
当前资源暂不支持预览
研制信息
- 起草单位：
- 安徽高芯众科半导体有限公司、苏州高芯众科半导体有限公司、合肥高芯众科材料科技有限公司
- 起草人：
- 辛长林、金巨万、阚云峰、李敏成、杨斌、郝俊、杜彪、黄启军、朱应高、韦孟德、汪文学、张峰
- 出版信息：
- 页数：- | 字数：- | 开本： -
内容描述
暂无内容
定制服务
推荐标准
- T/CECS 1123-2022 外包钢混凝土梁-钢管混凝土柱组合结构技术规程 2022-07-28
- T/SSC 1-2022 工程场址最大可信地震动评估 随机有限断层法 2022-05-24
- T/CBMF 17-2017 水泥生产企业质量管理规程 2017-04-06
- T/ZZB 2185-2021 预制混凝土楼梯 2021-08-08
- T/CADBM 17-2019 微粒吸声板 2019-09-27
- T/SZCX 003-2019 集成灶燃烧器技术规范 2019-05-08
- T/CECS 564-2018 空气源热泵供暖工程技术规程 2018-12-26
- T/LXLY 5-2020 城市既有建筑改造类社区养老服务设施设计导则 2020-11-30
- T/CECS 868-2021 二次供水水质污染防治技术规程 2021-06-02
- T/SDBMIA 006-2022 UTS钢丝拉结网片组合板现浇混凝土墙体自保温系统建筑构造 2022-07-20