T/CASME 1520-2024 半导体制造真空腔体零部件表面保护涂层
T/CASME 1520-2024 Semiconductor manufacturing vacuum chamber component surface protective coating
团体标准
中文(简体)
现行
页数：0页
|
格式：PDF
基本信息
标准号
T/CASME 1520-2024
标准类型
团体标准
标准状态
现行
发布日期
2024-06-04
实施日期
2024-06-20
发布单位/组织
-
归口单位
中国中小商业企业协会
适用范围
范围:本文件适用于半导体制造真空腔体零部件表面保护涂层;
主要技术内容:本文件规定了半导体制造真空腔体零部件表面保护涂层的缩略语、材料、喷涂工艺、技术要求、试验方法、涂层检验和喷涂记录
发布历史
-
2024年06月
文前页预览
当前资源暂不支持预览
研制信息
- 起草单位：
- 安徽高芯众科半导体有限公司、苏州高芯众科半导体有限公司、合肥高芯众科材料科技有限公司
- 起草人：
- 辛长林、金巨万、阚云峰、李敏成、杨斌、郝俊、杜彪、黄启军、朱应高、韦孟德、汪文学、张峰
- 出版信息：
- 页数：- | 字数：- | 开本： -
内容描述
暂无内容
定制服务
推荐标准
- T/CGAPA 090-2026 温州红鸡父母代种鸡饲养管理技术规程 2026-09-15
- T/WEA 213-2026 智能量控一体化闸门技术规范及应用要求 2026-09-10
- T/CSAEEP 011-2026 疣粒野生稻原生境保护技术规范 2026-09-14
- T/NJXH 010-2026 谷子残膜机械化回收技术规范 2026-09-10
- T/YCLO 001-2026 地理标志农产品永川莲藕 2026-09-10
- T/CGAPA 082-2026 地理标志产品质量要求 阿拉善白绒山羊 2026-09-15
- T/CGAPA 081-2026 地理标志产品质量要求 阿拉善双峰驼 2026-09-15
- T/NJXH 011-2026 阿尔巴斯绒山羊饲料制备管理与配套机械选型 2026-09-10
- T/YNRZ 037-2026 低维度高原设施黄瓜基质栽培技术规程 2026-09-14
- T/CGAPA 088-2026 地理标志产品质量要求 宁乡栀子 2026-09-15