T/CASME 1520-2024 半导体制造真空腔体零部件表面保护涂层
T/CASME 1520-2024 Semiconductor manufacturing vacuum chamber component surface protective coating
团体标准
中文(简体)
现行
页数：0页
|
格式：PDF
基本信息
标准号
T/CASME 1520-2024
标准类型
团体标准
标准状态
现行
发布日期
2024-06-04
实施日期
2024-06-20
发布单位/组织
-
归口单位
中国中小商业企业协会
适用范围
范围:本文件适用于半导体制造真空腔体零部件表面保护涂层;
主要技术内容:本文件规定了半导体制造真空腔体零部件表面保护涂层的缩略语、材料、喷涂工艺、技术要求、试验方法、涂层检验和喷涂记录
发布历史
-
2024年06月
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研制信息
- 起草单位：
- 安徽高芯众科半导体有限公司、苏州高芯众科半导体有限公司、合肥高芯众科材料科技有限公司
- 起草人：
- 辛长林、金巨万、阚云峰、李敏成、杨斌、郝俊、杜彪、黄启军、朱应高、韦孟德、汪文学、张峰
- 出版信息：
- 页数：- | 字数：- | 开本： -
内容描述
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