T/CASME 1520-2024 半导体制造真空腔体零部件表面保护涂层
T/CASME 1520-2024 Semiconductor manufacturing vacuum chamber component surface protective coating
团体标准
中文(简体)
现行
页数：0页
|
格式：PDF
基本信息
标准号
T/CASME 1520-2024
标准类型
团体标准
标准状态
现行
发布日期
2024-06-04
实施日期
2024-06-20
发布单位/组织
-
归口单位
中国中小商业企业协会
适用范围
范围:本文件适用于半导体制造真空腔体零部件表面保护涂层;
主要技术内容:本文件规定了半导体制造真空腔体零部件表面保护涂层的缩略语、材料、喷涂工艺、技术要求、试验方法、涂层检验和喷涂记录
发布历史
-
2024年06月
文前页预览
当前资源暂不支持预览
研制信息
- 起草单位：
- 安徽高芯众科半导体有限公司、苏州高芯众科半导体有限公司、合肥高芯众科材料科技有限公司
- 起草人：
- 辛长林、金巨万、阚云峰、李敏成、杨斌、郝俊、杜彪、黄启军、朱应高、韦孟德、汪文学、张峰
- 出版信息：
- 页数：- | 字数：- | 开本： -
内容描述
暂无内容
定制服务
推荐标准
- T/ZZXJX 263-2023 建筑塔式起重机现场安装质量检验技术规程 2023-06-26
- T/CRIA 16008-2019 耐灼烧金属网芯输送带 2019-12-09
- T/HASE 004-2023 流动式起重机安全管理规范 2023-08-16
- T/CCMA 0115-2021 塔式起重机使用说明书编写导则 2021-08-16
- T/SDCCM 002-2024 智能立体库 2024-12-20
- T/CCMA 0127-2022 塔式起重机测力环式起重量限制器 2022-04-06
- T/NXJX 041-2022 可伸缩带式输送机伸缩机身 2022-12-02
- T/HNZB 12-2023 混凝土搅拌运输车电动上装系统 2023-06-01
- T/ZZB 1868-2020 蓄电池前移式叉车 2020-11-18
- T/HFJX 2029-2020 再制造电动平板搬运车充放电接口 2020-06-29