SJ/T 11763-2020 半导体制造设备人机界面规范
SJ/T 11763-2020 SJ/T 11763-2020 Semiconductor manufacturing equipment human-machine interface specification
行业标准-电子
简体中文
现行
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格式：PDF
基本信息
标准号
SJ/T 11763-2020
标准类型
行业标准-电子
标准状态
现行
发布日期
2020-12-09
实施日期
2021-04-01
发布单位/组织
工业和信息化部
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
适用范围
适用于半导体制造设备
发布历史
-
2020年12月
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研制信息
- 起草单位：
- 北京北方华创微电子装备有限公司、工业和信息化部电子工业标准化研究院、北方华创科技集团股份有限公司等
- 起草人：
- 付金生、冯亚彬、程朝阳 等
- 出版信息：
- 页数：- | 字数：- | 开本： -
内容描述
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