SJ/T 11763-2020 半导体制造设备人机界面规范
SJ/T 11763-2020 SJ/T 11763-2020 Semiconductor manufacturing equipment human-machine interface specification
行业标准-电子
简体中文
现行
页数：0页
|
格式：PDF
基本信息
标准号
SJ/T 11763-2020
标准类型
行业标准-电子
标准状态
现行
发布日期
2020-12-09
实施日期
2021-04-01
发布单位/组织
工业和信息化部
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
适用范围
适用于半导体制造设备
发布历史
-
2020年12月
文前页预览
当前资源暂不支持预览
研制信息
- 起草单位：
- 北京北方华创微电子装备有限公司、工业和信息化部电子工业标准化研究院、北方华创科技集团股份有限公司等
- 起草人：
- 付金生、冯亚彬、程朝阳 等
- 出版信息：
- 页数：- | 字数：- | 开本： -
内容描述
暂无内容
定制服务
推荐标准
- SHS 04553-2004 HV822型叠丝机维护检修规程 2004-06-21
- QJ 1418-1988 应变式力传感器外形和联接尺寸规范 1988-03-18
- HB 5441.1-1989 粉末冶金制品和粉末的性能测试 测定金属粉末粒度的筛分法 1990-04-11
- SHS 03051-2004 高压套管换热器维护检修规程 2004-06-21
- FZ/T 93025-1993 毛、苎麻、绢纺翼锭粗纱机(罗拉、皮圈牵伸式) 1993-08-16
- JB/T 5694-1991 硅碳棒素烧窑能耗分等 1991-09-13
- FZ/T 20015.5-1998 毛纺产品分类、命名及编号 毛毡 1998-03-24
- SHS 02003-2004 脱蜡套管结晶器维护检修规程 2004-06-21
- JJG(电子) 04007-1987 BJ2950A(JS-4A)型 晶体管工作电压测试仪(试行) 1988-01-05
- YD/T 824-1996 成缆光纤截止波长的试验方法 1996-03-12