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SJ/T 11761-2020 200mm及以下晶圆用半导体设备装载端口规范

SJ/T 11761-2020 Specification for loading ports of semiconductor equipment for wafers with diameters of 200mm or less

行业标准-电子 简体中文 现行 页数：0页 | 格式：PDF

基本信息

标准号
SJ/T 11761-2020
标准类型
行业标准-电子
标准状态
现行
中国标准分类号（CCS）
L95/99 电子工业生产设备
国际标准分类号（ICS）
31.550 电子产品生产设备
发布日期
2020-12-09
实施日期
2021-04-01
发布单位/组织
工业和信息化部
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
适用范围
适用于加工直径 200 mm 及以下晶圆的半导体设备装载端口

发布历史

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研制信息

起草单位：
上海微电子装备有限公司、工业和信息化部电子工业标准化研究院、中微半导体设备（上海）有限公司等
起草人：
胡松立、郑教增、冯亚彬 等
出版信息：
页数：- | 字数：- | 开本： -

内容描述

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