T/CEMIA 015-2018 光纤预制棒用四氯化硅容器清洗技术规范

ICS3318010

M33..

团体标准

T/CEMIA015—2018

光纤预制棒用四氯化硅容器清洗技术规范

Technicalspecificationforcontainercleaningofsilicontetrachloridefor

opticalfiberpreform

2018-12-28发布2019-03-28实施

中国电子材料行业协会发布

T/CEMIA015—2018

前言

本标准按照给出的规则起草

GB/T1.1—2009。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任

。。

本标准由中国电子材料行业协会提出并归口

。

本标准主要起草单位洛阳中硅高科技有限公司中天科技精密材料有限公司上海正帆科技股份

:、、

有限公司青海中利光纤技术有限公司江苏亨通光导新材料有限公司通鼎互联信息股份有限公司威

、、、、

海长和光导科技有限公司有研国晶辉新材料有限公司多晶硅材料制备技术国家工程实验室

、、。

本标准主要起草人赵雄严大洲王磊赵宇郭树虎陈娅丽李东升谢康肖华蒋锡华于景明

:、、、、、、、、、、、

莫杰万烨常欣梁君周小红汤剑波卫晓明刘见华张园园

、、、、、、、、。

Ⅰ

T/CEMIA015—2018

光纤预制棒用四氯化硅容器清洗技术规范

1范围

本标准规定了光纤预制棒用四氯化硅产品容器清洗的设施和材料清洗条件清洗及质量控制的

、、

要求

。

本标准适用于光纤预制棒用四氯化硅充装容器的清洗光纤预制棒用四氯化锗半导体用三氯氢

,,

硅二氯二氢硅六氯乙硅烷等液体化工产品容器的清洗可参照使用

、、。

2规范性引用文件

下列文件对于本文件的应用是必不可少的凡是注日期的引用文件仅注日期的版本适用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改单适用于本文件

。,()。

气体中微量水分的测定第部分光腔衰荡光谱法

GB/T5832.33:

气体中微量氧的测定电化学法

GB/T6285

电子级水

GB/T11446.1

洁净室及相关受控环境第部分空气洁净度等级

GB/T25915.11:

特种气体系统工程技术规范

GB50646—2011

光纤预制棒用四氯化硅

T/CEMIA001

3设施和材料

31清洗装置通过喷射高压高纯水去除容器表面颗粒及金属毛刺的装置

.:,。

32干燥装置具有足够空间的烘箱以及能够充气排气抽真空的辅助设施的组合

.:、、。

33残液回收装置具备能够将容器内残余物料压空置换吹扫抽真空等功能的系统装置

.:、、、。

34尾气处理装置将充装回收烘干系统产生的尾气进行水解中和并达标排放的系统装置

.:、、、,。

35高纯水符合级的要求

.:GB/T11446.1EW-1。

36高纯气体氮气氩气或其他惰性气体纯度含水量

.:、,≥99.9999%,≤0.1μL/L。

4清洗条件

出现下列情况之一时容器应进行清洗

,:

达到清洗期限的一般为年

a)(3);

经第三方检定或拆装返回本单位后

b),;

盛装了非光纤预制棒用四氯化硅产品后

c);

受到污染或充装后产品质量不符合要求的

d);

经过维修改造更换内部附件的

e)、、;

对于首次使用的新容器仅采用产品清洗

f),。

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