GB/T 42106-2022 纳米技术 三维纳米结构与器件的加工方法 离子束辐照诱导应变法

ICS07.030

CCSA42

中华人民共和国国家标准

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GBT421062022

纳米技术三维纳米结构与器件的加工

方法离子束辐照诱导应变法

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NanotechnoloFabricationofthreedimensionalnanostructuresand

gy

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devicesAstrainmethodinducedbionbeamirradiation

y

2022-12-30发布2023-07-01实施

国家市场监督管理总局

发布

国家标准化管理委员会

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GBT421062022

目次

前言…………………………Ⅰ

引言…………………………Ⅱ

1范围………………………1

2规范性引用文件…………………………1

、………………………

3术语定义和缩略语1

3.1术语和定义…………………………1

3.2缩略语………………1

4加工原理…………………2

4.1原理…………………2

4.2利用该加工原理可构建的三维纳米结构…………2

5材料与设备………………3

5.1材料…………………3

5.2设备…………………3

6环境条件…………………3

6.1温度…………………3

6.2湿度…………………3

6.3洁净度………………4

7加工方法…………………4

7.1衬底清洗………………………